[发明专利]一种蒸发源装置

说明书

技术领域

本发明涉及液晶面板制作领域，特别是涉及一种蒸发源装置。

背景技术

在信息社会的当代，作为可视信息传输媒介的显示器的重要性在进一步加强，为了在未来占据主导地位，显示器正朝着更轻、更薄、更低能耗、更低成本以及更好图像质量的趋势发展。

OLED显示技术较之当前主流的液晶显示技术，具有对比度高、色域广、柔性、轻薄、节能等突出优点。近年来OLED显示技术逐渐在智能手机和平板电脑等移动设备、智能手表等柔性可穿戴设备、大尺寸弧面电视、白光照明等领域普及，发展势头强劲。

OLED技术主要包括以真空蒸镀技术为基础的小分子OLED技术和以溶液制程为基础的高分子OLED技术。蒸镀机是当前已量产的小分子OLED器件生产的主要设备，其设备核心部分为蒸发源装置，分为点蒸发源、线蒸发源、面蒸发源等。线蒸发源为当前重要的OLED量产技术，主要分为一体式线蒸发源和输送式线蒸发源。

现有的线蒸发源设计为直线型，为保证膜厚均匀性，蒸发源要做的比基板更长，导致材料利用率低，且其使用圆孔型喷射口，易造成材料堵塞，降低了量产的稼动率。

因此，现有技术存在缺陷，急需改进。

发明内容

本发明的目的在于提供一种改进的蒸发源装置。

为解决上述问题，本发明提供的技术方案如下：

本发明提供一种蒸发源装置，包括：

本体以及加热构件；

所述加热构件用于加热蒸镀材料形成蒸镀气体，所述本体设置有用于收容所述蒸镀气体的第一腔体；

所述本体包括第一壁体，所述第一壁体的外壁面呈向所述第一腔体内弯曲的曲面状；

所述第一壁体上设有一呈缝隙状的喷射口并与所述第一腔体连通，所述喷射口沿着所述第一壁体的弯曲方向弯曲分布，并将所述第一腔体内的蒸镀气体导出到外界。

在一些实施例中，所述呈缝隙状的喷射口的宽度由中间至两端逐渐变大。

在一些实施例中，所述加热结构用于控制所述第一腔体在沿所述第一壁体的弯曲方向上的温度先增后减。

在一些实施例中，所述加热构件用于分段控制所述第一腔体在沿所述第一壁体的弯曲方向上的温度。

在一些实施例中，所述第一壁体的内壁面呈向所述第一腔体内弯曲的曲面状。

在一些实施例中，所述加热构件设置于所述第一腔体内。

在一些实施例中，所述本体设置有第二腔体，所述本体包括第二壁体，所述第二壁体上设有与所述第二腔体连通的开口部；所述本体包括第三壁体，所述第三壁体设有与所述第一腔体连通的输入口；所述第二腔体通过所述开口部与所述输入口连通。

在一些实施例中，所述本体还包括气体传输管道，用于连通所述开口部与所述输入口。

在一些实施例中，所述加热构件设置于所述第二腔体内。

在一些实施例中，所述第一腔体内设置有若干个加热丝，以分段控制所述第一腔体在沿所述第一壁体的弯曲方向上的温度。

相较于现有的蒸发源装置，本发明提供的蒸发源装置包括本体以及加热构件；所述加热构件用于加热蒸镀材料形成蒸镀气体，所述本体设置有用于收容所述蒸镀气体的第一腔体；所述本体包括第一壁体，所述第一壁体的外壁面呈向所述第一腔体内弯曲的曲面状；所述第一壁体上设有一呈缝隙状的喷射口并与所述第一腔体连通，所述喷射口沿着所述第一壁体的弯曲方向弯曲分布，并将所述第一腔体内的蒸镀气体导出到外界。该方案可通过弯曲型的缝隙状喷射口改变蒸镀气体流向，使其更多地沉积到基板上，提高材料利用率，同时，喷射口设计为缝隙状可降低堵孔风险，提高量产的稼动率。

附图说明

图1为本发明优选实施例中蒸发源装置的一种立体结构示意图。

图2A为图1所示的蒸发源装置的一种正视结构示意图。

图2B为图1所示的蒸发源装置的一种俯视结构示意图。

图2C为图1所示的蒸发源装置的另一种俯视结构示意图。

图2D为图2C所示的蒸发源装置的俯视结构示意图的局部图。

图2E为图1所示的蒸发源装置的应用场景示意图。

图3为本发明优选实施例中蒸发源装置的另一种立体结构示意图。

图4A为图3所示的蒸发源装置中蒸发源本体的一种分解示意图。

图4B为图3所示的蒸发源装置的一种正视结构示意图。

图4C为图3所示的蒸发源装置的一种俯视结构示意图。

图4D为图3所示的蒸发源装置的另一种俯视结构示意图。

图4E为图3所示的蒸发源装置的应用场景示意图。