[发明专利]一种蒸发源装置在审
| 申请号： | 201710252800.6 | 申请日： | 2017-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN107058957A | 公开（公告）日： | 2017-08-18 |
| 发明（设计）人： | 沐俊应 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙)44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 装置 | ||
1.一种蒸发源装置，其特征在于，该蒸发源装置包括：
本体以及加热构件；
所述加热构件用于加热蒸镀材料形成蒸镀气体，所述本体设置有用于收容所述蒸镀气体的第一腔体；
所述本体包括第一壁体，所述第一壁体的外壁面呈向所述第一腔体内弯曲的曲面状；
所述第一壁体上设有一呈缝隙状的喷射口并与所述第一腔体连通，所述喷射口沿着所述第一壁体的弯曲方向弯曲分布，并将所述第一腔体内的蒸镀气体导出到外界。
2.如权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，所述呈缝隙状的喷射口的宽度由中间至两端逐渐变大。
3.如权利要求2所述的蒸发源装置，其特征在于，所述加热结构用于控制所述第一腔体在沿所述第一壁体的弯曲方向上的温度先增后减。
4.如权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，所述加热构件用于分段控制所述第一腔体在沿所述第一壁体的弯曲方向上的温度。
5.如权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，所述第一壁体的内壁面呈向所述第一腔体内弯曲的曲面状。
6.如权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，所述加热构件设置于所述第一腔体内。
7.如权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，所述本体设置有第二腔体，所述本体包括第二壁体，所述第二壁体上设有与所述第二腔体连通的开口部；所述本体包括第三壁体，所述第三壁体设有与所述第一腔体连通的输入口；所述第二腔体通过所述开口部与所述输入口连通。
8.如权利要求7所述的蒸发源装置，其特征在于，所述本体还包括气体传输管道，用于连通所述开口部与所述输入口。
9.如权利要求7所述的蒸发源装置，其特征在于，所述加热构件设置于所述第二腔体内。
10.如权利要求9所述的蒸发源装置，其特征在于，所述第一腔体内设置有若干个加热丝，以分段控制所述第一腔体在沿所述第一壁体的弯曲方向上的温度。
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