[发明专利]硅片夹、检测装置及其检测方法有效
| 申请号： | 201710244785.0 | 申请日： | 2017-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN108732180B | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 汪燕;刘源 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;B25B11/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 余昌昊 |
| 地址： | 201306 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种硅片夹、检测装置及其检测方法。硅片夹包括夹片以及与所述夹片连接的夹持器，所述夹片与所述夹持器共同形成有一容置空间，一硅片与所述容置空间相结合，且通过所述容置空间能够看到所述硅片的所有表面。检测装置包括硅片夹，并且还包括与所述硅片夹连接的手持杆，所述手持杆驱动所述硅片夹运动，以实现对所述硅片上所有表面的检测。检测方法包括：利用手持杆翻转所述硅片夹，以对所述硅片夹上的所述硅片的上下表面以及侧面进行检测。本发明提供的硅片夹、检测装置及其检测方法，能够检测到硅片的全部边缘，同时，在操作人员不熟练的情况下，能够提高检测准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 检测 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种硅片夹，其特征在于，包括夹片以及与所述夹片连接的夹持器；其中，所述夹片与所述夹持器共同形成有一容置空间，一硅片与所述容置空间相结合，且通过所述容置空间能够看到所述硅片的所有表面。
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