[发明专利]硅片夹、检测装置及其检测方法

权利要求书

1.一种硅片夹，其特征在于，包括夹片、与所述夹片连接的夹持器以及与所述夹持器连接的第一驱动机构；其中，

所述夹片与所述夹持器共同形成有一容置空间，一硅片与所述容置空间相结合，且通过所述容置空间能够看到所述硅片的所有表面；

所述夹持器包括夹具槽、上夹具以及下夹具；所述夹具槽设置在所述夹片上，所述上夹具与所述夹具槽固定连接，所述下夹具与所述夹具槽活动连接；

所述第一驱动机构与所述下夹具连接，并用于驱动所述下夹具作靠近或远离所述上夹具的运动，以实现所述夹持器的开闭，进而以实现对所述硅片的固定或释放。

2.如权利要求1所述的硅片夹，其特征在于，所述第一驱动机构包括顶针以及弹簧；

所述下夹具通过所述弹簧与所述夹具槽活动连接，所述顶针的一端与所述下夹具连接，通过所述顶针驱动所述下夹具作远离所述上夹具的运动，以打开所述夹持器，并通过所述弹簧驱动所述下夹具作靠近所述上夹具的运动以闭合所述夹持器。

3.如权利要求2所述的硅片夹，其特征在于，所述夹具槽具有一安装空间，所述第一驱动机构设置在所述安装空间内，且所述夹具槽上设置有与所述安装空间连通的通孔，所述顶针经由所述通孔与所述下夹具连接。

4.如权利要求1所述的硅片夹，其特征在于，所述硅片夹还包括与所述夹持器连接的另一夹片；所述另一夹片与所述夹片层叠设置，且所述另一夹片与所述夹片之间形成有一间隙。

5.如权利要求1所述的硅片夹，其特征在于，所述硅片夹与一手持杆连接。

6.如权利要求1所述的硅片夹，其特征在于，所述硅片夹具有一封闭的内腔，所述内腔构成所述容置空间的一部分。

7.如权利要求1所述的硅片夹，其特征在于，所述夹片具有一C形内腔，所述C形内腔构成所述容置空间的一部分。

8.如权利要求1所述的硅片夹，其特征在于，所述夹持器至少为两个，多个所述夹持器沿所述容置空间的周向间隔分布。

9.一种检测装置，其特征在于，包括：如权利要求1-8中任意一项所述的硅片夹，并且还包括与所述硅片夹连接的手持杆，所述手持杆驱动所述硅片夹运动，以实现对所述硅片上所有表面的检测。

10.如权利要求9所述的检测装置，其特征在于，还包括硅片盒、传送部件以及支撑台；所述硅片盒用于存放所述硅片，所述传送部件用于在所述硅片盒以及所述硅片夹之间传送所述硅片，所述支撑台用于放置所述硅片夹。

11.如权利要求10所述的检测装置，其特征在于，包括用于与第一驱动机构连接的第二驱动机构，所述第二驱动机构通过所述第一驱动机构驱动所述夹持器打开或关闭以固定或释放所述硅片，所述第一驱动机构连接所述夹持器。

12.如权利要求10所述的检测装置，其特征在于，所述第二驱动机构设置在所述支撑台上。

13.如权利要求10所述的检测装置，其特征在于，还包括设置在所述支撑台一侧的透明件，透过所述透明件能够看到所述支撑台上的所述硅片夹。

14.如权利要求10所述的检测装置，其特征在于，所述支撑台上设置有与第一定位机构相配合的第二定位机构，所述第一定位机构设置在所述硅片夹上。

15.如权利要求9所述的检测装置，其特征在于，还包括拿取所述硅片夹的手套。

16.如权利要求9所述的检测装置，其特征在于，包括设置在所述硅片夹一侧的风机过滤单元，所述风机过滤单元用于产生朝着所述硅片夹方向的风流。