[发明专利]一种真空镀膜腔体检漏系统及检漏方法有效
| 申请号： | 201710191928.6 | 申请日： | 2017-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN106802218B | 公开（公告）日： | 2023-08-04 |
| 发明（设计）人： | 罗松松;张仰平;王东;张勇杰;王程;王翔宇 | 申请（专利权）人： | 凯盛重工有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20 |
| 代理公司： | 合肥东邦滋原专利代理事务所(普通合伙) 34155 | 代理人： | 王芸 |
| 地址： | 232008 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种真空镀膜腔体检漏系统及检漏方法，包括：被检真空腔体、检漏装置、电控系统，被检真空腔体下侧连接有检漏装置，电控系统连接控制检漏装置，所述被检真空腔体侧壁上装有破空装置I和真空检测元件I，所述检漏装置包括高真空泵、前级泵组I、前级泵组II、真空检测元件、破空装置、氦质谱检漏仪、喷氦系统，高真空泵通过法兰盘直接安装在被检真空腔体的侧壁上，前级泵组I、前级泵组II通过真空管道串联，后通过高真空蝶阀I与高真空泵串联；本发明采用自动控制系统，对电气元器件具有一键操作功能；本发明具有检漏灵敏度高，能够精确定位漏孔位置并可定量评判漏点大小等优点。同时，本发明具有结构简单，易操作的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 体检 系统 检漏 方法 | ||
【主权项】：
一种真空镀膜腔体检漏系统，包括：被检真空腔体、检漏装置、电控系统，其特征在于：被检真空腔体下侧连接有检漏装置，电控系统连接控制检漏装置，所述被检真空腔体侧壁上装有破空装置I和真空检测元件I，所述检漏装置包括高真空泵、前级泵组I、前级泵组II、高真空蝶阀I、高真空蝶阀II、真空检测元件、破空装置、氦质谱检漏仪、喷氦系统，高真空泵通过法兰盘直接安装在被检真空腔体的侧壁上，前级泵组I、前级泵组II通过真空管道串联，后通过高真空蝶阀I与高真空泵串联；在高真空蝶阀I与前级泵组I之间的主真空管道上，通过三通管道与被检真空腔体之间设有一支路真空管道，所述主真空管道和支路真空管道在适当位置通过波纹管连接，所述支路真空管道与被检真空腔体通过高真空蝶阀II连接；高真空蝶阀I与前级泵组I之间的真空管道上安装有真空检测元件II和破空装置II，并且预留检漏口阀门，氦质谱检漏仪通过检漏口阀门连接到真空泵抽系统中；所述高真空泵、前级泵组I、前级泵组II、高真空蝶阀I、高真空蝶阀II、真空检测元件I、真空检测元件II通过电缆与电控系统连接。
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