[发明专利]一种真空镀膜腔体检漏系统及检漏方法

权利要求书

1.一种真空镀膜腔体检漏系统，包括：被检真空腔体、检漏装置、电控系统，其特征在于：被检真空腔体下侧连接有检漏装置，电控系统连接控制检漏装置，所述被检真空腔体侧壁上装有破空装置I和真空检测元件I，所述检漏装置包括高真空泵、前级泵组I、前级泵组II、高真空蝶阀I、高真空蝶阀II、真空检测元件、破空装置、氦质谱检漏仪、喷氦系统，高真空泵通过法兰盘直接安装在被检真空腔体的侧壁上，前级泵组I、前级泵组II通过真空管道串联，后通过高真空蝶阀I与高真空泵串联；在高真空蝶阀I与前级泵组I之间的主真空管道上，通过三通管道与被检真空腔体之间设有一支路真空管道，所述主真空管道和支路真空管道在适当位置通过波纹管连接，所述支路真空管道与被检真空腔体通过高真空蝶阀II连接；高真空蝶阀I与前级泵组I之间的真空管道上安装有真空检测元件II和破空装置II，并且预留检漏口阀门，氦质谱检漏仪通过检漏口阀门连接到真空泵抽系统中；所述高真空泵、前级泵组I、前级泵组II、高真空蝶阀I、高真空蝶阀II、真空检测元件I、真空检测元件II通过电缆与电控系统连接。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜腔体检漏系统，其特征在于：所述前级泵组I为罗茨泵，前级泵组II为旋片泵或螺杆泵；所述高真空泵为涡轮分子泵。

3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜腔体检漏系统，其特征在于：所述高真空泵的排气口通过手动角阀以及波纹管连接到主抽气管路中。

4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜腔体检漏系统，其特征在于：所述高真空泵为水冷泵，且在循环冷却管路上需串联水流量开关。

5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜腔体检漏系统，其特征在于：所述破空装置I通过气动角阀I连接到被检真空腔体和真空管道上,破空装置II通过气动角阀II连接到被检真空腔体和真空管道上，所述气动角阀I、气动角阀II通过电缆与电控系统连接。

6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜腔体检漏系统，其特征在于：所述真空检测元件I为复合电离规，可检测真空度范围5x10^-9～1000mbar；所述真空检测元件I通过手动角阀与被检真空腔体连接。

7.根据权利要求1所述的一种真空镀膜腔体检漏系统，其特征在于：所述真空检测元件II为标准皮拉尼规，可检测真空度范围5x10^-4～1000mbar；所述真空检测元件II通过KF型法兰接口与主真空管道连接。

8.一种真空镀膜腔体检漏方法，包括以下步骤：

S101.首先检查电气接线及各管路连接，确保各电气元器件接线正确以及硬件管路连接正确；

S102.接通柜外电源，闭合柜内断路器；

S103.开启循环冷却水系统；

S104.在电控显示屏上依次按下旋片泵和罗茨泵启动按钮；

S105.打开分子泵管路手动角阀，至最大开度；打开主真空管道气动蝶阀；

S106.待腔体真空度达到8x10^-2mbar时，在电控显示屏上按下分子泵启动按钮；

S107.待被检真空腔体真空度达到5x10^-5mbar时，开启检漏仪，待自检完成后，打开检漏口阀门，此时可对被检真空腔体利用喷氦系统进行检漏操作；

S108.待检漏完成后，关闭分子泵；

S19.等待15～20分钟，待分子泵停止之后关闭主真空管道气动蝶阀；

S110.在电控显示屏上依次关闭罗茨泵和旋片泵；

S111.依次打开主真空管道破空角阀和腔体破空角阀，进行破空；

S113.断开循环冷却水.断开柜内断路器，断开柜外电源，完成真空镀膜腔体的检漏。