[发明专利]一种真空镀膜腔体检漏系统及检漏方法

说明书

本发明提供一种真空镀膜腔体检漏系统及检漏方法，包括：被检真空腔体、检漏装置、电控系统，被检真空腔体下侧连接有检漏装置，电控系统连接控制检漏装置，所述被检真空腔体侧壁上装有破空装置I和真空检测元件I，所述检漏装置包括高真空泵、前级泵组I、前级泵组II、真空检测元件、破空装置、氦质谱检漏仪、喷氦系统，高真空泵通过法兰盘直接安装在被检真空腔体的侧壁上，前级泵组I、前级泵组II通过真空管道串联，后通过高真空蝶阀I与高真空泵串联；本发明采用自动控制系统，对电气元器件具有一键操作功能；本发明具有检漏灵敏度高，能够精确定位漏孔位置并可定量评判漏点大小等优点。同时，本发明具有结构简单，易操作的优点。

技术领域

本发明涉及真空腔体检漏技术领域，具体为一种真空镀膜腔体检漏系统及检漏方法。

背景技术

玻璃改性工艺用真空镀膜主要指一类需要在较高真空度下进行的玻璃镀膜。镀膜玻璃生产线真空装备是镀膜玻璃生产线中关键设备之一，镀膜段高本底真空和腔体的低漏率是生产优质镀膜玻璃的前提和保证。因此，所加工的真空镀膜腔体不仅要求快速的抽空，而且要求本底真空＜8×10^-6mbar，腔体漏率＜1×10^-7mbar.l/s，为保证本底真空及漏率，真空腔体必须采用气密性焊接方式，对焊缝质量要求极为严格，只有达到以上关键性工艺技术，才能最终保证镀膜玻璃膜层的均匀性和稳定性。

传统的检漏方法主要有加压检漏法和真空检漏法。加压检漏法在被检容器内充入一定压力的卤素气体，当容器上存在漏孔时，气体便从漏孔中逸出，检漏时，用探头在外部寻找漏孔。该方法存在检漏灵敏度低和不能精确定位的问题。真空检漏法是将被检容器内部抽空后，再把试验物质施于容器外表可疑位置。如有漏孔，试验物质便通过漏孔进入容器，通过一些方法或仪器指示出来，从而可判断出漏孔的位置和大小。玻璃镀膜腔体制造厂家一般利用扩散泵进行抽真空检漏，但该方法存在本底真空度低和高污染的问题，并且对更微小的漏孔难以检漏。

发明内容

本发明所解决的技术问题在于提供一种真空镀膜腔体检漏系统及检漏方法，以解决上述背景技术中的问题。

本发明所解决的技术问题采用以下技术方案来实现：一种真空镀膜腔体检漏系统，包括：被检真空腔体、检漏装置、电控系统，被检真空腔体下侧连接有检漏装置，电控系统连接控制检漏装置，所述被检真空腔体侧壁上装有破空装置I和真空检测元件I，所述检漏装置包括高真空泵、前级泵组I、前级泵组II、高真空蝶阀I、高真空蝶阀II、真空检测元件、破空装置、氦质谱检漏仪、喷氦系统，高真空泵通过法兰盘直接安装在被检真空腔体的侧壁上，前级泵组I、前级泵组II通过真空管道串联，后通过高真空蝶阀I与高真空泵串联；在高真空蝶阀I与前级泵组I之间的主真空管道上，通过三通管道与被检真空腔体之间设有一支路真空管道，所述主真空管道和支路真空管道在适当位置通过波纹管连接，所述支路真空管道与被检真空腔体通过高真空蝶阀II连接；高真空蝶阀I与前级泵组I之间的真空管道上安装有真空检测元件II和破空装置II，并且预留检漏口阀门，氦质谱检漏仪通过检漏口阀门连接到真空泵抽系统中；所述高真空泵、前级泵组I、前级泵组II、高真空蝶阀I、高真空蝶阀II、真空检测元件I、真空检测元件II通过电缆与电控系统连接。

所述前级泵组I为罗茨泵，前级泵组II为旋片泵或螺杆泵。

所述高真空泵为涡轮分子泵。

所述高真空泵的排气口通过手动角阀以及波纹管连接到主抽气管路中。

所述高真空泵为水冷泵，且在循环冷却管路上需串联水流量开关。

所述破空装置I通过气动角阀I连接到被检真空腔体和真空管道上,破空装置II通过气动角阀II连接到被检真空腔体和真空管道上，所述气动角阀I、气动角阀II通过电缆与电控系统连接。

所述真空检测元件I为复合电离规，可检测真空度范围5x10^-9～1000mbar；所述真空检测元件I通过手动角阀与被检真空腔体连接。