[发明专利]一种TFT‑LCD/AMOLED平面显示器宽幅钼靶材的轧制工艺在审
申请号: | 201710183820.2 | 申请日: | 2017-03-24 |
公开(公告)号: | CN106964650A | 公开(公告)日: | 2017-07-21 |
发明(设计)人: | 孙虎民;崔冬乐;高建杰 | 申请(专利权)人: | 洛阳高新四丰电子材料有限公司 |
主分类号: | B21B1/38 | 分类号: | B21B1/38;B21B27/10;C22F1/18;C21D1/74 |
代理公司: | 郑州知己知识产权代理有限公司41132 | 代理人: | 季发军 |
地址: | 471000 河南*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本发明涉及一种TFT‑LCD/AMOLED平面显示器用宽幅钼靶材的轧制工艺,包括选择尺寸为70‑120mm~500‑800mm~900‑1300mm钼烧结坯为原料,对钼板坯进行两次加热轧制,轧制成的半成品钼板厚度为12‑18mm,宽度1000‑1800mm,长度1200‑2300mm,利用轧制余热送入进行预校平;预校平后的所述半成品钼板在氢气炉中900‑1100℃热处理2‑3h,然后最终校平处理,得到宽幅钼靶材。本发明得到的钼板平整晶粒组织细小均匀的,工序简单,成品率高,扫描探伤后组织无缺陷,密度大于10.18,晶粒尺寸为70μm左右,平整度小于2mm,完全满足TFT‑LCD/AMOLED平面显示器宽幅钼靶材使用标准。 | ||
搜索关键词: | 一种 tft lcd amoled 平面 显示器 宽幅 钼靶材 轧制 工艺 | ||
【主权项】:
一种TFT‑LCD/AMOLED平面显示器宽幅钼靶材的轧制工艺,其特征在于,包括以下步骤:(1)、选择尺寸为70‑120mm~500‑800mm~900‑1300mm钼烧结坯为原料,钼板坯的端口设有咬入角,保证钼板坯能够顺利咬入宽幅轧机,顺利完成轧制工序;(2)、钼烧结坯和预热轧辊的钼板进行第一次加热;(3)、将加热好的钼板进入轧机空轧来预热宽幅轧机轧辊;(4)、加热完成后的钼坯放入预热后的辊道,进行一火次轧制,轧制加工率为50%‑60%;(5)、一火轧制完成后,进行90度角换向,然后进行第二次加热;(6)、加热完成后,进行二火轧制,轧制后的板坯厚度为12‑18mm,所述轧制加工率为20%‑30%;(7)、将轧制成的半成品钼板厚度为12‑18mm,宽度1000‑1800mm,长度1200‑2300mm,利用轧制余热送入进行预校平;(8)、预校平后的所述半成品钼板在氢气炉中900‑1100℃热处理2‑3h,然后最终校平处理,得到宽幅钼靶材。
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