[发明专利]硅片自动分离装置有效

专利信息
申请号: 201710166702.0 申请日: 2017-03-20
公开(公告)号: CN106783700B 公开(公告)日: 2023-05-26
发明(设计)人: 孙铁囤;汤平;姚伟忠 申请(专利权)人: 常州亿晶光电科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 代理人: 郑云
地址: 213000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及硅片生产设备技术领域,尤其是涉及一种硅片自动分离装置,包括机架、控制单元和激光测距传感器,所述机架上转动设置有环形支座,所述机架上设有用于驱动环形支座转动的第一驱动装置,所述环形支座上沿圆周分布设有若干第一输送带,所述第一输送带上设有从动摩擦轮,本发明硅片自动分离装置在使用时,通过激光测距传感器的检测信号,使得控制单元控制第一驱动装置和第三驱动装置启闭,当检测合格硅片,由一侧的第一输送带通过第二输送带到达另一端的第一输送带输出,当检测不合格时,使得带有硅片的第一输送带转动至第二主动摩擦轮处,从而实现第一输送带对硅片的快速分离,提高工作效率。
搜索关键词: 硅片 自动 分离 装置
【主权项】:
一种硅片自动分离装置,其特征在于:包括机架(1)、控制单元(2)和激光测距传感器(3),所述机架(1)上转动设置有环形支座(4),所述机架(1)上设有用于驱动环形支座(4)转动的第一驱动装置(5),所述环形支座(4)上沿圆周分布设有若干第一输送带(6),所述第一输送带(6)上设有从动摩擦轮(7),所述机架(1)上设有至少两组第一主动摩擦轮(10),所述第一主动摩擦轮(10)之间设有第二主动摩擦轮(11),所述第一主动摩擦轮(10)和第二主动摩擦轮(11)转动方向相反,所述第一主动摩擦轮(10)和第二主动摩擦轮(11)均与从动摩擦轮(7)相对应,所述机架(1)上设有用于驱动第一主动摩擦轮(10)转动的第二驱动装置(9),所述机架(1)上设有用于驱动第二主动摩擦轮(11)转动的第三驱动装置(12),所述机架(1)上位于所述第一输送带(6)之间设有第二输送带(8),所述机架(1)上设有用于驱动第二输送带(8)转动的第四驱动装置(13),当第一主动摩擦轮(10)与从动摩擦轮(7)接触时,以实现硅片由一侧的第一输送带(6)通过第二输送带(8)向另一侧的第一输送带(6)方向输送,同时第二主动摩擦轮(11)与从动摩擦轮(7)接触,以实现第一输送带(6)将硅片输出,所述激光测距传感器(3)设置在所述第一输送带(6)的输入端且位于其上方,所述激光测距传感器(3)与所述控制单元(2)信号连接,所述第一驱动装置(5)、第二驱动装置(9)、第三驱动装置(12)及第四驱动装置(13)均与所述控制单元(2)信号连接。
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