[发明专利]硅片自动分离装置有效
申请号: | 201710166702.0 | 申请日: | 2017-03-20 |
公开(公告)号: | CN106783700B | 公开(公告)日: | 2023-05-26 |
发明(设计)人: | 孙铁囤;汤平;姚伟忠 | 申请(专利权)人: | 常州亿晶光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 | 代理人: | 郑云 |
地址: | 213000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅片 自动 分离 装置 | ||
1.一种硅片自动分离装置,其特征在于:包括机架(1)、控制单元(2)和激光测距传感器(3),所述机架(1)上转动设置有环形支座(4),所述机架(1)上设有用于驱动环形支座(4)转动的第一驱动装置(5),所述环形支座(4)上沿圆周分布设有若干第一输送带(6),所述第一输送带(6)上设有从动摩擦轮(7),所述机架(1)上设有至少两组第一主动摩擦轮(10),所述第一主动摩擦轮(10)之间设有第二主动摩擦轮(11),所述第一主动摩擦轮(10)和第二主动摩擦轮(11)转动方向相反,所述第一主动摩擦轮(10)和第二主动摩擦轮(11)均与从动摩擦轮(7)相对应,所述机架(1)上设有用于驱动第一主动摩擦轮(10)转动的第二驱动装置(9),所述机架(1)上设有用于驱动第二主动摩擦轮(11)转动的第三驱动装置(12),所述机架(1)上位于所述第一输送带(6)之间设有第二输送带(8),所述机架(1)上设有用于驱动第二输送带(8)转动的第四驱动装置(13),当第一主动摩擦轮(10)与从动摩擦轮(7)接触时,以实现硅片由一侧的第一输送带(6)通过第二输送带(8)向另一侧的第一输送带(6)方向输送,同时第二主动摩擦轮(11)与从动摩擦轮(7)接触,以实现第一输送带(6)将硅片输出,所述激光测距传感器(3)设置在所述第一输送带(6)的输入端且位于其上方,所述激光测距传感器(3)与所述控制单元(2)信号连接,所述第一驱动装置(5)、第二驱动装置(9)、第三驱动装置(12)及第四驱动装置(13)均与所述控制单元(2)信号连接。
2.根据权利要求1所述的硅片自动分离装置,其特征在于:所述第一输送带(6)由第一带轮(14)、第二带轮(15)、第三带轮(16)、第四带轮(17)和环形皮带(18)组成,所述第一带轮(14)、第二带轮(15)、第三带轮(16)和第四带轮(17)均转动设置在所述环形支座(4)上,所述第一带轮(14)、第二带轮(15)、第三带轮(16)及第四带轮(17)相互平行设置,所述环形皮带(18)依次与第一带轮(14)、第二带轮(15)、第三带轮(16)、第四带轮(17)的外周面接触,所述第一带轮(14)和第二带轮(15)位于第三带轮(16)和第四带轮(17)上方、所述从动摩擦轮(7)设置在所述第三带轮(16)和第四带轮(17)上。
3.根据权利要求1所述的硅片自动分离装置,其特征在于:所述第一驱动装置(5)为旋转气缸。
4.根据权利要求1所述的硅片自动分离装置,其特征在于:所述第二驱动装置(9)、第三驱动装置(12)和第四驱动装置(13)均为电机。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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