[发明专利]聚焦离子束装置有效
| 申请号： | 201710160053.3 | 申请日： | 2017-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN107204268B | 公开（公告）日： | 2020-03-20 |
| 发明（设计）人： | 大西毅;岩堀敏行 | 申请（专利权）人： | 日本株式会社日立高新技术科学 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 闫小龙;陈岚 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及聚焦离子束装置。提供一种能够以简易的结构使观察对象的微小样品片在聚焦离子束装置与样品观察装置之间容易地移动的聚焦离子束装置。具备：样品台，载置样品；聚焦离子束镜筒，向所述样品照射聚焦离子束来制作微小样品片；样品室，收容所述样品台和所述聚焦离子束镜筒；侧面插入型的托架，以能对所述样品室插拔的方式形成，能够在顶端侧保持所述微小样品片；以及样品片移动单元，使所述微小样品片在所述样品台和所述托架之间移动，所述样品台以能至少分别沿着沿水平面的x轴和与其成直角的y轴及沿铅垂方向的z轴移动的方式形成，在所述样品台的一端形成有与所述托架拆装自由地卡合并且伴随着该样品台的移动也使该托架移动的托架卡合部。 | ||
| 搜索关键词： | 聚焦 离子束 装置 | ||
【主权项】：
一种聚焦离子束装置，其特征在于，具备：样品台，载置样品；聚焦离子束镜筒，向所述样品照射聚焦离子束来制作微小样品片；样品室，收容所述样品台和所述聚焦离子束镜筒；侧面插入型的托架，以能对所述样品室插拔的方式形成，能够在顶端侧保持所述微小样品片；以及样品片移动单元，使所述微小样品片在所述样品台和所述托架之间移动，所述样品台以能至少分别沿着沿水平面的x轴和与其成直角的y轴及沿铅垂方向的z轴移动的方式形成，在所述样品台的一端形成有与所述托架拆装自由地卡合并且伴随着该样品台的移动也使该托架移动的托架卡合部。
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