[发明专利]聚焦离子束装置

权利要求书

1.一种聚焦离子束装置，包含：

样品台，在其上载置样品；

聚焦离子束镜筒，通过使用聚焦离子束照射所述样品来获得微小样品片；

样品室，在其中容纳所述样品台和所述聚焦离子束镜筒；

侧面插入型的托架，可对所述样品室进行插拔，以所述托架的顶端侧保持所述微小样品片；以及

样品片移动单元，用于使所述微小样品片在所述样品台和所述托架之间移动，

其中，所述样品台可至少分别沿着沿水平面的x轴、垂直于所述x轴的y轴和沿铅垂方向的z轴移动，

并且在所述样品台的一端设置有与所述托架以能拆装的方式卡合并且伴随着该样品台的沿着所述x轴、y轴和z轴的移动也使该托架移动的托架卡合部。

2.根据权利要求1所述的装置，其中，所述样品室设置有保持该样品室密封并能够使所述托架对所述样品室进行插拔的装载互锁机构。

3.根据权利要求1所述的装置，其中，所述样品台设置有能够使所述样品绕所述z轴转动的工作台。

4.根据权利要求1所述的装置，其中，所述样品室设置有能够使所述样品台绕所述x轴倾斜的倾斜构件。

5.根据权利要求1所述的装置，其中，所述样品室还设置有能够使所述托架绕所述x轴转动的托架转动构件。

6.根据权利要求1所述的装置，其中，所述托架设置有：具有对所述微小样品片进行保持的网状物的支架、以及以能拆装的方式保持该支架的支架接合器。

7.根据权利要求6所述的装置，其中，所述托架卡合部与所述支架接合器扣紧。

8.根据权利要求1所述的装置，其中，所述托架卡合部还设置有在所述托架与所述托架卡合部之间进行绝热的绝热构件。

9.根据权利要求1所述的装置，其中，所述样品室还设置有用于对由所述托架保持的所述微小样品片的透射电子像进行观察的透射电子检测器。

10.一种聚焦离子束装置，包含：

样品室；

样品台；被设置在所述样品室中，用于支承样品，所述样品台可沿着x轴、垂直于所述x轴的y轴和垂直于所述x轴及所述y轴的z轴移动；

聚焦离子束镜筒，被设置在所述样品室中，用于在所述样品被所述样品台支承时使用聚焦离子束照射所述样品来获得微小样品片；

托架，可对所述样品室进行插拔，所述托架具有顶端部分，所述顶端部分被配置为当所述托架被插入到所述样品室中时保持所述微小样品片；以及

样品片移动单元，被设置在所述样品室中，并且，被配置为将所述微小样品片从所述样品台移动到所述托架的所述顶端部分，

其中，所述样品台具有托架卡合部，所述托架卡合部被配置为当所述托架被插入到所述样品室中预定距离时与所述托架可释放地卡合来将所述样品台的沿着所述x轴、y轴和z轴的移动传递到所述托架，使得所述样品台的移动伴随着相应的所述托架的移动。

11.根据权利要求10所述的聚焦离子束装置，其中，所述托架卡合部具有开口，所述开口是当所述托架被插入到所述样品室中所述预定距离时所述托架的所述顶端部分通过其延伸的开口。

12.根据权利要求11所述的聚焦离子束装置，其中，所述开口是锥形开口，并且，所述托架具有锥形部分，所述锥形部分被配置为适合所述锥形开口，使得当所述托架被插入到所述样品室中所述预定距离时，所述锥形部分被容纳在所述锥形开口中并且与所述托架卡合部可释放地卡合。

13.根据权利要求10所述的聚焦离子束装置，其中，所述样品室包含保持该样品室密封并能够使所述托架对所述样品室进行插拔的装载互锁机构。