[发明专利]光强均匀性自动调节装置及调整方法有效
| 申请号： | 201710154369.1 | 申请日： | 2017-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN108628103B | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 杨鹏;陈昌利;何雄;张轲;姚宏忠 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种光强均匀性自动调节装置及调整方法，包括光强实时检测系统，光强分析系统以及光强自动调整系统；所述光强实时监测系统检测晶片工作台上的光强，并将检测结果传递至所述光强分析系统；所述光强分析系统结合一标准数据，产生调整信号并传递至所述光强自动调整系统；所述光强自动调整系统依据所述调整信号调整光源发出的光的光强。由此可以提前补偿减小透镜的损失，最终达到光强均匀的目的，从而能够提高CD的均匀性，提高光刻质量；并且，降低设备更换元件的频率，有效节约成本。 | ||
| 搜索关键词： | 均匀 自动 调节 装置 调整 方法 | ||
【主权项】：
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