[发明专利]扫描极化力显微镜成像对比度的调控方法有效

专利信息
申请号: 201710142849.6 申请日: 2017-03-10
公开(公告)号: CN106908627B 公开(公告)日: 2019-10-01
发明(设计)人: 申月;周园;董欧阳;李翔;海春喜;曾金波;任秀峰 申请(专利权)人: 中国科学院青海盐湖研究所
主分类号: G01Q60/00 分类号: G01Q60/00
代理公司: 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 代理人: 孙伟峰
地址: 810008*** 国省代码: 青海;63
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摘要: 发明公开了一种扫描极化力显微镜成像对比度的调控方法,包括步骤:将纳米材料制备在衬底表面上,获得待测样品;控制测试环境的相对湿度在10%~90%内逐渐变化,并利用扫描极化力显微镜对待测样品进行表征测试,获得扫描极化力显微镜图片;在获得的图片中,纳米材料的表观高度随相对湿度的变化而变化,且出现正值和负值间的转变;挑选纳米材料的表观高度为0nm时对应的相对湿度,确定为临界湿度点;选取低于临界湿度点的相对湿度作为成像对比度的合适测试湿度。该调控方法用于获得稳定准确且重复性高的表征结果,有利于图像分析。本发明还公开了另一调控方法,不仅能够获得良好的表征测试结果,还可用于分辨至少两种形貌相同但电学性质不同的纳米材料。
搜索关键词: 扫描 极化 显微镜 成像 对比度 调控 方法
【主权项】:
1.一种扫描极化力显微镜成像对比度的调控方法,其特征在于,包括步骤:将纳米材料制备在衬底表面上,获得待测样品;控制测试环境的相对湿度在10%~90%范围内逐渐变化,并利用扫描极化力显微镜对所述待测样品进行表征测试,获得扫描极化力显微镜图片;其中,在所述扫描极化力显微镜图片中,所述纳米材料的表观高度随相对湿度的变化而变化,且出现正值和负值间的转变;在所述扫描极化力显微镜图片中挑选所述纳米材料的表观高度为0nm时所对应的相对湿度,确定为临界湿度点;选取低于临界湿度点的相对湿度作为所述待测样品的成像对比度的合适测试湿度。
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