[发明专利]缺陷检测装置和缺陷检测方法在审
| 申请号： | 201710108958.6 | 申请日： | 2012-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN107064724A | 公开（公告）日： | 2017-08-18 |
| 发明（设计）人： | 濑户基司;村上浩明 | 申请（专利权）人： | 株式会社东芝 |
| 主分类号： | G01R31/04 | 分类号： | G01R31/04;G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所11247 | 代理人： | 段承恩,万利军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供缺陷检测装置和缺陷检测方法。一实施方式的缺陷检测装置具备测定部，测定向被检查装置输入信号之后到接收由被检查装置的缺陷部位反射的反射信号为止的第1时间；存储部，存储表示与多个部件或多个部分分别相应的传导特性的多个模型数据；控制部，对于被检查装置内的检查对象的范围，基于各区域的传导特性，将检查对象的范围分割出第1部分、以及比第1部分远离测定部的第2部分，将第2时间代入与第2部分对应的模型数据来运算第2部分中的第1预测传导距离，该第2时间是从第1时间减去与向第1部分输入信号之后反射而接收所花费的时间相当的时间而得到的时间；以及显示部，其基于运算结果在图像数据显示缺陷部位的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种缺陷检测装置，具备：测定部，测定向被检查装置输入信号之后到接收由上述被检查装置的缺陷部位反射的反射信号为止的第1时间；存储部，存储表示与多个部件或多个部分分别相应的传导特性的多个模型数据；控制部，对于上述被检查装置内的检查对象的范围，基于各区域的传导特性，将上述检查对象的范围分割出第1部分、以及比上述第1部分远离测定部的第2部分，将第2时间代入与上述第2部分对应的上述模型数据来运算上述第2部分中的第1预测传导距离，该第2时间是从上述第1时间减去与向上述第1部分输入上述信号之后反射而接收所花费的时间相当的时间而得到的时间；以及显示部，基于上述运算结果，在图像数据显示上述缺陷部位的位置。
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