[发明专利]一种图形失真的检测方法及结构

摘要

本发明实施例公开了一种图形失真的检测方法及结构。该方案中，对第一感光材料通过曝光显影形成所需的待检测图形的同时，在待检测图形的预设检测区域形成具有两个不同高度的水平面的检测台阶，然后通过相同的曝光机参数对第二感光材料在检测区域内形成用于检测曝光失焦的检测图形，如果检测图形在检测台阶的两个水平面上的预设尺寸参数是一致的，说明所采用的曝光机参数曝光时，第二感光材料在焦深范围内，由于第一感光材料与第二感光材料所采用的曝光机参数相同，那么，第一感光材料也在焦深范围内，就没有曝光失焦，形成的待检测图形就不会因曝光失焦而失真，反之，则因曝光失焦而失真。这样，可以及时发现解决曝光失焦及其导致的图形失真问题。

主权项

1.一种图形失真的检测方法，其特征在于，包括：在基板上涂覆第一感光材料；依照预设曝光机参数，对所述第一感光材料曝光，显影形成待检测图形，同时在所述待检测图形的至少一个预设检测区域内形成检测台阶；其中，所述检测台阶具有高度不同的第一水平面和第二水平面；所述第一水平面和所述第二水平面平行于所述基板所在平面；在所述基板上涂覆第二感光材料；依照所述预设曝光机参数，对所述第二感光材料曝光，显影形成位于所述检测区域内的用于检测曝光失焦的检测图形；检测所述检测图形中位于所述检测台阶的第一水平面的部分与位于所述检测台阶的第二水平面的部分的预设尺寸参数是否一致；如果一致，则确定所述待检测图形在所述检测区域未因曝光失焦失真；如果不一致，则确定所述待检测图形在所述检测区域因曝光失焦失真。