[发明专利]一种图形失真的检测方法及结构

权利要求书

1.一种图形失真的检测方法，其特征在于，包括：

在基板上涂覆第一感光材料；

依照预设曝光机参数，对所述第一感光材料曝光，显影形成待检测图形，同时在所述待检测图形的至少一个预设检测区域内形成检测台阶；其中，所述检测台阶具有高度不同的第一水平面和第二水平面；所述第一水平面和所述第二水平面平行于所述基板所在平面；

在所述基板上涂覆第二感光材料；

依照所述预设曝光机参数，对所述第二感光材料曝光，显影形成位于所述检测区域内的用于检测曝光失焦的检测图形；

检测所述检测图形中位于所述检测台阶的第一水平面的部分与位于所述检测台阶的第二水平面的部分的预设尺寸参数是否一致；如果一致，则确定所述待检测图形在所述检测区域未因曝光失焦失真；如果不一致，则确定所述待检测图形在所述检测区域因曝光失焦失真。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第二感光材料的厚度小于所述第一感光材料的厚度。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，形成位于所述检测区域内的用于检测曝光失焦的检测图形，包括：

在所述检测区域内形成至少一条条状的检测图形；其中，所述条状的检测图形在所述基板上的正投影与所述检测台阶在所述基板上的正投影相交。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，在所述待检测图形的至少一个预设检测区域内形成检测台阶，包括：

在所述待检测图形的至少一个所述检测区域内形成凸起，以形成所述检测台阶。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，检测所述检测图形中位于所述检测台阶的第一水平面的部分与位于所述检测台阶的第二水平面的部分的预设尺寸参数是否一致，包括：

检测所述条状的检测图形中位于所述凸起的部分与位于所述凸起一侧的部分的线宽是否一致；

或者，检测各所述条状的检测图形位于所述凸起的部分与位于所述凸起一侧的部分的间隔是否一致。

6.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，在所述待检测图形的至少一个预设检测区域内形成检测台阶，包括：

在所述待检测图形的至少一个所述检测区域内形成凹槽，以形成所述检测台阶。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，检测所述检测图形中位于所述检测台阶的第一水平面的部分与位于所述检测台阶的第二水平面的部分的预设尺寸参数是否一致，包括：

检测所述条状的检测图形中位于所述凹槽内的部分与位于所述凹槽外的部分的线宽是否一致；

或者，检测各所述条状的检测图形位于所述凹槽内的部分与位于所述凹槽外的部分的间隔是否一致。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述检测台阶分布于非像素区域。

9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述检测台阶分布于所述待检测图形的周边区域。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述检测台阶分布于所述待检测图形的顶点处和/或侧边中点处。

11.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一感光材料和第二感光材料相同。

12.根据权利要求11所述的方法，其特征在于，所述第一感光材料和第二感光材料均为树脂。

13.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，该方法还包括：

去除所述检测图形。

14.一种图形失真的检测结构，其特征在于，包括：基板，位于所述基板上的依照预设曝光机参数曝光并显影得到的待检测图形、在所述待检测图形的至少一个预设检测区域内的检测台阶、位于所述检测区域内依照所述预设曝光机参数曝光并显影得到的用于检测曝光失焦的检测图形；

其中，所述检测台阶具有高度不同的第一水平面和第二水平面；所述第一水平面和所述第二水平面平行于所述基板所在平面；

所述检测图形位于所述检测台阶的第一水平面的部分与位于所述检测台阶的第二水平面的部分的预设尺寸参数一致时，则表明所述待检测图形在所述检测区域未因曝光失焦失真；如果不一致，则表明所述待检测图形在所述检测区域因曝光失焦失真。