[发明专利]成膜方法及使用前述成膜方法的积层体基板的制造方法有效
| 申请号： | 201710103251.6 | 申请日： | 2017-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN107130218B | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 渡边宽人 | 申请（专利权）人： | 住友金属矿山股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56;C23C14/08;C23C14/16 |
| 代理公司： | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人： | 程伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开成膜方法及使用前述成膜方法的积层体基板的制造方法，具体提供一种能够消除长条状树脂膜的宽度方向的色差而不易发生蚀刻不良的成膜方法。本发明的成膜方法是利用溅镀法等干式镀敷法于在真空室10内以辊对辊方式从卷出辊11搬送至卷取辊24的长条状树脂膜F的两面分别形成第1覆膜及第2覆膜，且在第1次卷取与第2次卷取之间适宜地利用来自离子源29的离子束照射对所述第1覆膜的表面实施干式蚀刻处理，所述第1次卷取是于将所述第1覆膜形成在长条状树脂膜F的一面之后，利用卷取辊24而实施，所述第2次卷取是于将第2覆膜形成在已形成第1覆膜的长条状树脂膜F的另一面之后，利用卷取辊24而实施。 | ||
| 搜索关键词： | 方法 使用 前述 积层体基板 制造 | ||
【主权项】：
一种成膜方法，利用干式镀敷法在以辊对辊方式搬送的长条状树脂膜的两面分别形成第1覆膜及第2覆膜，其特征在于：在第1次卷取与第2次卷取之间对所述第1覆膜的表面实施干式蚀刻处理，所述第1次卷取是于将所述第1覆膜形成在所述长条状树脂膜的一面之后，所述第2次卷取是于将第2覆膜形成在已形成所述第1覆膜的长条状树脂膜的另一面之后。
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