[发明专利]组合式之大钻石单晶化学机械研磨修整器的制造方法在审
| 申请号： | 201710061767.9 | 申请日： | 2017-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN106826600A | 公开（公告）日： | 2017-06-13 |
| 发明（设计）人： | 张荣德;宋健民 | 申请（专利权）人： | 福建自贸试验区厦门片区展瑞精芯集成电路有限公司 |
| 主分类号： | B24D18/00 | 分类号： | B24D18/00;B24B53/017;B24B53/12 |
| 代理公司： | 北京国之大铭知识产权代理事务所(普通合伙)11565 | 代理人： | 朱晓蕾 |
| 地址： | 361012 福建省厦门市中国(福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种组合式之大钻石单晶化学机械研磨修整器的制造方法，先提供一大基板，该大基板具有复数个容置槽，该容置槽中设置有一海绵以及一渗入该海绵的树脂材料；将复数个研磨单元分别设置于该容置槽中，该研磨单元分别包括一小基板以及复数个固定于该小基板上的大钻石研磨颗粒，该大钻石研磨颗粒具有一不小于300微米的粒径；接着以一刚性模板抵压该大钻石研磨颗粒；然后硬化该树脂材料，使该树脂材料黏着该研磨单元而固定于该大基板上。 | ||
| 搜索关键词： | 组合式 钻石 化学 机械 研磨 修整 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种组合式之大钻石单晶化学机械研磨修整器的制造方法，其特征在于，包含以下步骤：提供一大基板，该大基板具有复数个容置槽，该容置槽内设置有一海棉以及一渗入该海棉的树脂材料；将复数个研磨单元分别设置于该容置槽中，该研磨单元分别包括一小基板以及一固定于该小基板上的大钻石研磨颗粒，其中，该大钻石研磨颗粒具有一不小于300微米的粒径；以一刚性模板抵压该大钻石研磨颗粒；以及硬化该树脂材料，使该树脂材料黏着该研磨单元而将该研磨单元固定于该大基板上。
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