[发明专利]基板处理装置

摘要

一种基板处理装置，其设置在处理容器内，一边于在旋转台的一个面侧载置有基板的状态下使其旋转而使基板公转、一边向该基板供给处理气体而进行处理，其中，该基板处理装置包括：载置台，用于载置所述基板；以及磁力齿轮机构，其具有经由在沿着所述旋转台的旋转轴的方向上延伸的自转轴连结于所述载置台并用于使所述载置台自转的从动齿轮部和用于驱动该从动齿轮部的驱动齿轮部，所述驱动齿轮部以使驱动面和所述从动齿轮的从动面相对的方式配置，为了使形成于所述驱动面和所述从动面之间的磁力线移动而使所述从动齿轮旋转，所述驱动齿轮部连接于使所述驱动面移动的驱动部。

主权项

一种基板处理装置，其设置在处理容器内，在绕旋转轴旋转的旋转台的一个面侧载置基板，一边通过使所述旋转台旋转而使基板公转、一边向该基板供给处理气体而进行处理，该基板处理装置的特征在于，该基板处理装置包括：载置台，其设置为绕自转轴自转自如，用于载置所述基板，该自转轴在沿着所述旋转台的旋转轴的方向上延伸；以及磁力齿轮机构，其具有用于使所述载置台绕自转轴自转的从动齿轮部和用于驱动该从动齿轮部的驱动齿轮部，所述从动齿轮部经由所述自转轴连结于所述载置台，设为沿着使该载置台自转的方向旋转自如，并且具有从动面，该从动面在与设置于所述驱动齿轮部侧的驱动面之间形成有磁力线，所述驱动齿轮部以使所述驱动面与随着所述旋转台的旋转而移动的所述从动齿轮的通过移动轨道上的预先设定好的位置的从动面相对的状态配置，而且为了使所述磁力线移动而使从动齿轮旋转，该驱动齿轮部连接于用于使所述驱动面移动的驱动部。