[发明专利]一种晶圆夹紧装置

摘要

本发明公开了一种晶圆夹紧装置，应用于化学机械抛光后清洗设备技术领域，其包括由固定盘及固定杆构成的转盘，导向柱及活动夹；固定盘位于转盘的中心，固定杆设置在固定盘的周围；导向柱固定在固定杆的端部，活动夹铰接于固定杆的端部，晶圆放置在导向柱上；活动夹上设置有弹性装置，弹性装置推动活动夹沿铰接处旋转，周向夹紧放置在导向柱上的晶圆；工作时，驱动单元与转盘连接并带动转盘旋转，即而夹紧在导向柱上的晶圆旋转，以完成晶圆的清洗。本发明提供的一种晶圆夹紧装置，其结构合理，安装快捷，固定可靠；主体采用圆弧形结构，减少空气流阻，降低晶圆的振动频率，提高晶圆的颗粒度，保证晶圆加工质量。

主权项

一种晶圆夹紧装置，其特征在于，包括由固定盘（1a）及固定杆（1b）构成的转盘（1），导向柱（2）及活动夹（3）；固定盘（1a）位于转盘（1）的中心，固定杆（1b）设置在固定盘（1a）的周围；导向柱（2）固定在固定杆（1b）的端部，活动夹（3）铰接于固定杆（1b）的端部，晶圆（7）放置在导向柱（2）上；活动夹（3）上设置有弹性装置，弹性装置推动活动夹（3）沿铰接处旋转，周向夹紧放置在导向柱（2）上的晶圆（7）。