[发明专利]一种晶圆夹紧装置

权利要求书

1.一种晶圆夹紧装置，其特征在于，包括由固定盘（1a）及固定杆（1b）构成的转盘（1），导向柱（2）及活动夹（3）；固定盘（1a）位于转盘（1）的中心，固定杆（1b）设置在固定盘（1a）的周围；导向柱（2）固定在固定杆（1b）的端部，活动夹（3）铰接于固定杆（1b）的端部，晶圆（7）放置在导向柱（2）上；活动夹（3）上设置有弹性装置，弹性装置推动活动夹（3）沿铰接处旋转，周向夹紧放置在导向柱（2）上的晶圆（7）。

2.根据权利要求1所述晶圆夹紧装置，其特征在于，所述导向柱（2）上设置有导向斜面（2a）和台阶（2b），晶圆（7）沿导向斜面（2a）向下，由台阶（2b）限制晶圆（7）的纵向位移。

3.根据权利要求1所述晶圆夹紧装置，其特征在于，所述活动夹（3）包括夹板（3a）及立柱（3b），立柱（3b）上设置有导向孔，弹性装置设置在立柱（3b）的导向孔内；弹性装置与固定杆（1b）连接，推动活动夹（3）沿铰接处转动，夹紧放置在导向柱（2）上的晶圆（7）。

4.根据权利要求3所述晶圆夹紧装置，其特征在于，所述弹性装置包括调节杆（5）及压簧（6），压簧（6）套在调节杆（5）的外侧，调节杆（5）及压簧（6）的组件安装在立柱（3b）的导向孔内。

5.根据权利要求1所述晶圆夹紧装置，其特征在于，所述固定杆（1b）的数量至少三个，其均布在固定盘（1a）的周围。

6.根据权利要求5所述晶圆夹紧装置，其特征在于，所述固定杆（1b）及其与固定盘（1a）的连接处为圆弧形结构。

7.根据权利要求1所述晶圆夹紧装置，其特征在于，所述活动夹（3）通过转轴（4）与固定杆（1b）铰接。