[发明专利]缺陷检测系统及方法有效
申请号: | 201710035668.3 | 申请日: | 2017-01-17 |
公开(公告)号: | CN106896113B | 公开(公告)日: | 2021-08-17 |
发明(设计)人: | 林宽宏;吴柏徵 | 申请(专利权)人: | 住华科技股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/95 | 分类号: | G01N21/95 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 梁挥;鲍俊萍 |
地址: | 中国台湾台南*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 一种用于检测被移送的光学薄膜的缺陷检测系统,包括光源、影像捕获设备及狭缝板。光源配置于光学薄膜的一侧,影像捕获设备配置于光学薄膜的另一侧。狭缝板具有狭缝,狭缝板配置于光源与光学薄膜之间,以使入射光线穿过狭缝。其中,影像捕获设备偏移自光源与狭缝的延伸连线。 | ||
搜索关键词: | 缺陷 检测 系统 方法 | ||
【主权项】:
一种缺陷检测系统,用于检测被移送的一光学薄膜,其特征在于,包括:一光源,配置于该光学薄膜的一侧;一影像捕获设备,配置于该光学薄膜的另一侧;以及一狭缝板,具有一狭缝,该狭缝板配置于该光源与该光学薄膜之间,以使一入射光线穿过该狭缝;其中,该影像捕获设备偏移自该光源与该狭缝的延伸连线。
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