[发明专利]缺陷检测系统及方法有效
| 申请号: | 201710035668.3 | 申请日: | 2017-01-17 |
| 公开(公告)号: | CN106896113B | 公开(公告)日: | 2021-08-17 |
| 发明(设计)人: | 林宽宏;吴柏徵 | 申请(专利权)人: | 住华科技股份有限公司 |
| 主分类号: | G01N21/95 | 分类号: | G01N21/95 |
| 代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 梁挥;鲍俊萍 |
| 地址: | 中国台湾台南*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 缺陷 检测 系统 方法 | ||
1.一种缺陷检测系统,用于检测被移送的一光学薄膜,其特征在于,包括:
一光源,配置于该光学薄膜的一侧;
一影像捕获设备,配置于该光学薄膜的另一侧;以及
一狭缝板,具有一狭缝,该狭缝的宽度为1.5毫米至2.5毫米,该狭缝板配置于该光源与该光学薄膜之间,以使一入射光线穿过该狭缝;
其中,该影像捕获设备偏移自该光源与该狭缝的延伸连线,且当该影像捕获设备的影像传感器对准于该光源与该狭缝的延伸连线时,所感测出的影像亮度为I0;当该影像捕获设备于平行该光学薄膜的移动方向上偏移自该光源与该狭缝的延伸连线时,所感测出的影像亮度为I1;其中,当该光学薄膜不包括一凹凸缺陷位置点时,该入射光线不会产生散射光线,当该光学薄膜包括该凹凸缺陷位置点时,该入射光线会产生散射光线,且I1/I00.8~0.85能够观测该光学薄膜的该凹凸缺陷位置点。
2.根据权利要求1所述的缺陷检测系统,其特征在于,该入射光线垂直地射入该光学薄膜。
3.根据权利要求1所述的缺陷检测系统,其特征在于,该狭缝的宽度为1.5~2.5毫米。
4.根据权利要求1所述的缺陷检测系统,其特征在于,更包括:
一移动单元,用以于平行该光学薄膜的移动方向上移动该影像捕获设备。
5.根据权利要求1所述的缺陷检测系统,其特征在于,更包括:
一图像处理单元,接收并处理该影像捕获设备所发送的影像信号;
一周期信号产生单元,依据该光学薄膜的移送速度发送一周期信号;以及
一控制单元,耦接于该图像处理单元,并接收来自该周期信号产生单元的该周期信号,以及对该影像捕获设备传输摄像信号。
6.一种用于检测被移送的一光学薄膜的缺陷检测方法,其特征在于,包括:
提供一光源,该光源配置于该光学薄膜的一侧;
提供一影像捕获设备,该影像捕获设备配置于该光学薄膜的另一侧;
提供一狭缝板,该狭缝板具有一狭缝,该狭缝的宽度为1.5毫米至2.5毫米,该狭缝板配置于该光源与该光学薄膜之间,以使一入射光线穿过该狭缝;以及
使该影像捕获设备偏移自该光源与该狭缝的延伸连线,当该影像捕获设备的影像传感器对准于该光源与该狭缝的延伸连线时,所感测出的影像亮度为I0,当该影像捕获设备于该光学薄膜的移动方向上偏移自该光源与该狭缝的延伸连线时,所感测出的影像亮度为I1,其中,当该光学薄膜不包括一凹凸缺陷位置点时,该入射光线不会产生散射光线,当该光学薄膜包括该凹凸缺陷位置点时,该入射光线会产生散射光线,且I1/I0为0.8~0.85时,能够观测该光学薄膜的该凹凸缺陷位置点。
7.根据权利要求6所述的缺陷检测方法,其特征在于,于提供该光源及该狭缝板的步骤中,使该入射光线垂直地射入该光学薄膜。
8.根据权利要求6所述的缺陷检测方法,其特征在于,该狭缝的宽度为1.5~2.5毫米。
9.根据权利要求6所述的缺陷检测方法,其特征在于,更包括:
提供一移动单元,该移动单元于该光学薄膜的移动方向上移动该影像捕获设备。
10.根据权利要求6所述的缺陷检测方法,其特征在于,更包括:
提供一图像处理单元,该图像处理单元接收并处理该影像捕获设备所发送的影像信号;
提供一周期信号产生单元,该周期信号产生单元依据该光学薄膜的移送速度发送一周期信号;以及
提供一控制单元,该控制单元耦接于该图像处理单元,并接收来自该周期信号产生单元的该周期信号,以及对该影像捕获设备传输摄像信号。
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