[发明专利]一种图像传感器封装过程中的清洗机及清洗工艺有效
申请号: | 201710020380.9 | 申请日: | 2017-01-11 |
公开(公告)号: | CN106611730B | 公开(公告)日: | 2019-09-27 |
发明(设计)人: | 王国建 | 申请(专利权)人: | 积高电子(无锡)有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L27/146 |
代理公司: | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人: | 袁粉兰 |
地址: | 214161 江苏省无锡市滨湖区胡埭工*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种图像传感器封装过程中的清洗机及清洗工艺,属于图像传感器的清洗领域,本发明提供的图像传感器封装过程中的清洗工艺,通过将图像传感器的正面朝下,同时合理系统的设计各个工艺参数,并且对清洗机进行了部分改进,从而克服了现有技术中的清洗工艺无法有效去除赃物的问题,既有力的去除了产品上的赃物,又缩短了清洗时间,大大提高了封装的良品率,进而降低了封装的成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 图像传感器 封装 过程 中的 清洗 工艺 | ||
【主权项】:
1.一种图像传感器封装过程中的清洗机,其特征在于,包括:用于固定载具条的圆形转盘组件,用于压缩空气的可调节空气压缩机构,用于喷水的喷水机构,所述喷水机构的喷水口在所述圆形转盘组件下方;所述圆形转盘组件包括圆形转盘,所述圆形转盘上开设有多个方形窗口,所述窗口靠近所述圆形转盘的圆心的一边称之为内边,穿过所述圆心且与所述内边垂直的直径平分所述内边;每个所述窗口上均并列固定有多个两侧具有卡槽的卡板,相邻两个卡板之间可插入固定一载具条,所述卡板较长的一边与所述内边平行;靠近所述卡板较短的一边所在的窗口一侧设置有一固定挡板,靠近所述卡板较短的一边所在的窗口另一侧设置有一可活动挡板,所述可活动挡板的固定端铰链在所述圆形转盘上,与所述可活动挡板的活动端对应的圆形转盘部位设置有用于卡住所述可活动挡板的卡扣。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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