[发明专利]一种图像传感器封装过程中的清洗机及清洗工艺有效
| 申请号: | 201710020380.9 | 申请日: | 2017-01-11 |
| 公开(公告)号: | CN106611730B | 公开(公告)日: | 2019-09-27 |
| 发明(设计)人: | 王国建 | 申请(专利权)人: | 积高电子(无锡)有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L27/146 |
| 代理公司: | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人: | 袁粉兰 |
| 地址: | 214161 江苏省无锡市滨湖区胡埭工*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 图像传感器 封装 过程 中的 清洗 工艺 | ||
1.一种图像传感器封装过程中的清洗机,其特征在于,包括:用于固定载具条的圆形转盘组件,用于压缩空气的可调节空气压缩机构,用于喷水的喷水机构,所述喷水机构的喷水口在所述圆形转盘组件下方;
所述圆形转盘组件包括圆形转盘,所述圆形转盘上开设有多个方形窗口,所述窗口靠近所述圆形转盘的圆心的一边称之为内边,穿过所述圆心且与所述内边垂直的直径平分所述内边;每个所述窗口上均并列固定有多个两侧具有卡槽的卡板,相邻两个卡板之间可插入固定一载具条,所述卡板较长的一边与所述内边平行;靠近所述卡板较短的一边所在的窗口一侧设置有一固定挡板,靠近所述卡板较短的一边所在的窗口另一侧设置有一可活动挡板,所述可活动挡板的固定端铰链在所述圆形转盘上,与所述可活动挡板的活动端对应的圆形转盘部位设置有用于卡住所述可活动挡板的卡扣。
2.如权利要求1所述的图像传感器封装过程中的清洗机,其特征在于,所述可活动挡板具有向所述窗口内侧的“L”形挡条,以抵住所述载具条。
3.如权利要求2所述的图像传感器封装过程中的清洗机,其特征在于,所述可活动挡板具有多个向所述窗口内侧的“L”形挡条,以抵住所述载具条。
4.如权利要求1所述的图像传感器封装过程中的清洗机,其特征在于,所述窗口为四个。
5.如权利要求1所述的图像传感器封装过程中的清洗机,其特征在于,每个所述窗口上的卡板为四个。
6.一种图像传感器封装过程中的清洗工艺,使用如权利要求1~5中任意一项所述的图像传感器封装过程中的清洗机,其特征在于,包括:
(1)将待清洗图像传感器粘贴在载具条上,而后将所述载具条固定在所述清洗机的圆形转盘组件上,且所述待清洗图像传感器的正面朝下、背面朝上;
(2)控制清洗机的腔体温度为42℃~48℃,启动清洗机的可调节空气压缩机构,控制所述可调节空气压缩机构输出常压空气,同时启动清洗机的圆形转盘组件和清洗机的下部喷水机构,控制圆形转盘组件转速为190r/m~210r/m,所述下部喷水机构喷出的水压力为0.3-0.6MPA、流量为280~310ml/min,进行初清洗50s~60s;
(3)控制所述可调节空气压缩机构输出的高压空气的压力为0.6-0.7MPA,同时下部喷水机构喷出的水压力为0.3-0.6MPA、流量为280~310ml/min,产生二流体,同时圆形转盘组件转速为190r/m~210r/m,进行终清洗55s~60s;
(4)关闭清洗机的可调节空气压缩机构和喷水机构,控制圆形转盘组件转速提高至950r/m~1000r/m,进行甩干60~100s;
其中,所述待清洗图像传感器的正面为具有金丝或铝丝将图像传感器芯片与陶瓷/PCB外壳键合互连起来的一面。
7.如权利要求6所述的图像传感器封装过程中的清洗工艺,其特征在于,在步骤(4)中,将所述清洗机的腔体温度提高至50~53℃。
8.如权利要求6所述的图像传感器封装过程中的清洗工艺,其特征在于,所述喷水机构喷出的水为超纯水。
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