[发明专利]溅射装置有效
| 申请号： | 201710006470.2 | 申请日： | 2017-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN106939412B | 公开（公告）日： | 2021-01-22 |
| 发明（设计）人： | 李栋熙;申相原 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 康泉;宋志强 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种溅射装置。本发明一实施例的溅射装置可包括：第一电极和第二电极，彼此面对地配置在腔室内；多个靶，在第二电极的第一面上被配置为沿第一方向彼此隔开；和磁场生成部，位于第二电极的朝向与第一面相反的一侧的第二面上，并包括被配置为与多个靶中的每一个对应的多个磁铁部件，对多个磁铁部件中的每一个来说，磁铁部件在与第一方向交叉的第二方向上的边缘区域的磁场强度比所述磁铁部件的中心区域小。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 装置 | ||
【主权项】：
一种溅射装置，包括：第一电极和第二电极，彼此面对地配置在腔室内；多个靶，沿第一方向彼此隔开地配置在所述第二电极的第一面上；以及磁场生成部，位于所述第二电极的朝向与所述第一面相反的一侧的第二面上，并包括被配置为与所述多个靶中的每一个对应的多个磁铁部件，对于所述多个磁铁部件中的每一个，所述磁铁部件在与所述第一方向交叉的第二方向上的边缘区域的磁场强度比所述磁铁部件的中心区域的磁场强度小。
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