[其他]质谱仪系统及真空歧管有效
| 申请号： | 201690000471.5 | 申请日： | 2016-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN208062021U | 公开（公告）日： | 2018-11-06 |
| 发明（设计）人： | S·T·夸姆比;B·A·泰立瑞尔 | 申请（专利权）人： | 萨默费尼根有限公司 |
| 主分类号： | H01J49/24 | 分类号： | H01J49/24 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 江漪 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种质谱仪系统，其可包含真空歧管和高真空泵。所述真空歧管可包含前级管道腔室和高真空腔室。所述前级管道腔室可具有源入口、前级管道入口和前级管道出口。所述高真空泵可具有耦合到高真空腔室的真空端口和耦合到所述前级管道入口的前级管道端口。本实用新型还涉及一种真空歧管，该真空歧管用于质谱仪系统。借助根据本实用新型的质谱仪系统及真空歧管，可以改善用于质谱的真空系统。 | ||
| 搜索关键词： | 前级管道 歧管 质谱仪系统 本实用新型 高真空泵 高真空腔 耦合到 腔室 真空端口 真空系统 源入口 质谱 出口 | ||
【主权项】：
1.一种质谱仪系统，其包括：真空歧管，其包含：前级管道腔室，其具有源入口、前级管道入口和前级管道出口；以及高真空腔室；以及高真空泵，其具有真空端口，其耦合到高真空腔室；以及前级管道端口，其耦合到所述前级管道入口。
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