[其他]质谱仪系统及真空歧管

权利要求书

1.一种质谱仪系统，其包括：

真空歧管，其包含：

前级管道腔室，其具有源入口、前级管道入口和前级管道出口；以及

高真空腔室；以及

高真空泵，其具有

真空端口，其耦合到高真空腔室；以及

前级管道端口，其耦合到所述前级管道入口。

2.根据权利要求1所述的质谱仪系统，其特征在于，进一步包括耦合到所述前级管道出口的前级管道泵。

3.根据权利要求1所述的质谱仪系统，其特征在于，所述前级管道腔室可在0.1托与10托之间的压力下操作。

4.根据权利要求1所述的质谱仪系统，其特征在于，所述高真空腔室可在1×10^-12托与1×10^-3托之间的压力下操作。

5.根据权利要求1所述的质谱仪系统，其特征在于，进一步包括在所述前级管道腔室与所述高真空腔室之间的中间真空腔室。

6.根据权利要求5所述的质谱仪系统，其特征在于，所述中间真空腔室可在1×10^-4托与2×10^-1托之间的压力下操作。

7.根据权利要求1所述的质谱仪系统，其特征在于，进一步包括在所述前级管道腔室与所述高真空腔室之间的两个中间真空腔室。

8.根据权利要求1所述的质谱仪系统，其特征在于，进一步包括在所述高真空腔室内的质量分析器。

9.根据权利要求1所述的质谱仪系统，其特征在于，所述真空歧管为单片真空歧管。

10.一种质谱仪系统，其包括：

真空歧管，其包含：

前级管道腔室，其具有前级管道入口和前级管道出口；

高真空腔室；以及

中间真空腔室，其位于所述前级管道腔室与所述高真空腔室之间；以及

高真空泵，其包含：

主级，其耦合到所述高真空腔室；

中间级，其耦合到所述中间真空腔室；以及

前级管道端口，其耦合到所述前级管道腔室；

其中来自所述高真空泵的气体流动通过所述前级管道腔室且经由所述前级管道出口流出到前级管道泵。

11.根据权利要求10所述的质谱仪系统，其特征在于，所述前级管道腔室可在0.1托与10托之间的压力下操作。

12.根据权利要求10所述的质谱仪系统，其特征在于，所述高真空腔室可在1×10^-12托与1×10^-3托之间的压力下操作。

13.根据权利要求10所述的质谱仪系统，其特征在于，所述中间真空腔室可在1×10^-4托与2×10^-1托之间的压力下操作。

14.根据权利要求10所述的质谱仪系统，其特征在于，进一步包括在所述高真空腔室内的质量分析器。

15.根据权利要求10所述的质谱仪系统，其特征在于，进一步包括位于所述中间真空腔室与所述高真空腔室之间的第二中间真空腔室。

16.根据权利要求10所述的质谱仪系统，其特征在于，所述真空歧管为单片真空歧管。