[发明专利]检查装置和检查方法有效
| 申请号： | 201680091308.9 | 申请日： | 2016-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN110036279B | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 宫泽一之 | 申请（专利权）人： | 三菱电机株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 孙明浩;崔成哲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在现有的检查装置中，按照每个像素进行运算并判定有无异常，需要在全部像素中高精度地进行位置对齐，因此，存在导致导入成本的增加和计算机的计算时间的增加这样的问题。设置有：解析部(12a)，其对不包含异常的对象物的数据进行减少数据的维度的维度压缩，由此计算表示不包含异常的对象物的数据的性质的参数，使用参数对要检查的对象物的数据进行维度压缩；复原部(14a)，其生成复原数据，该复原数据是对由解析部(12a)进行维度压缩后的要检查的对象物的数据进行复原而得到的；判定部(14a)，其根据要检查的对象物的数据与复原数据之间的差分的大小，输出表示要检查的对象物是否异常的判定结果；以及输出部(15)，其输出判定部(14a)输出的判定结果。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种检查装置，其具有：解析部，其对不包含异常的对象物的数据进行减少数据的维度的维度压缩，由此计算表示不包含所述异常的对象物的数据的性质的参数，使用所述参数对要检查的对象物的数据进行维度压缩；复原部，其生成复原数据，该复原数据是对由所述解析部进行维度压缩后的所述要检查的对象物的数据进行复原而得到的；判定部，其根据所述要检查的对象物的数据与所述复原数据之间的差分的大小，输出表示所述要检查的对象物是否异常的判定结果；以及输出部，其输出所述判定部输出的所述判定结果。
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