[发明专利]超声波接合用工具及超声波接合装置

摘要

本发明的目的是提供一种能够良好地保持超声波振动处理后的被接合件的接合性的构造的超声波接合用工具。并且，作为有关本发明的超声波接合用工具的接合工具(4)在抵接前端部(4t)的突出区域(8)中具有多个突起部(80)。多个突起部(80)沿着作为突出区域(8)的长度方向的X方向按照长度方向间隔(DX)均等地形成，在X方向上位于最外侧的X方向最外突起部(80xe)从X方向上的突出区域(8)的端边隔开长度方向端边距离(EX)而配置。并且，多个突起部(80)以满足第1配置条件{0.349≤EX/DX≤0.510}的方式配置。

主权项

1.一种超声波接合用工具(4)，该超声波接合用工具用于超声波振动接合装置，所述超声波振动接合装置对配置在基板(11)的表面上的被接合件(12)从上方加压并施加超声波振动，而将上述被接合件向上述基板的表面上接合，其中，在上述超声波接合用工具的前端部(4t)，设置有在超声波振动的施加时与上述被接合件接触的突出区域(8)；上述突出区域具有相互分离形成的多个凸部(80)，上述多个凸部沿着第1方向按照每个第1间隔均等地形成，上述第1方向是上述突出区域的长度方向；上述多个凸部中的在上述第1方向上位于最外侧的第1方向最外侧凸部，从上述第1方向上的上述突出区域的端部起隔开第1方向端部距离而配置；上述多个凸部配置为：当设上述第1间隔为DX，设上述第1方向端部距离为EX时，满足第1配置条件{0.349≤EX/DX≤0.510}。