[发明专利]超声波接合用工具及超声波接合装置

权利要求书

1.一种超声波接合用工具(4)，该超声波接合用工具用于超声波振动接合装置，该超声波振动接合装置对配置在基板(11)的表面上的被接合件(12)从上方加压并施加超声波振动，而将上述被接合件向上述基板的表面上接合，其中，

在上述超声波接合用工具的前端部(4t)，设置有在超声波振动的施加时与上述被接合件接触的突出区域(8)；

上述突出区域具有相互不接触而分离形成的多个凸部(80)，上述多个凸部沿着第1方向按照每个第1间隔均等地形成，上述第1方向是上述突出区域的长度方向，上述突出区域不具有上述多个凸部之外的凸部；

上述多个凸部中的在上述第1方向上位于最外侧的第1方向最外侧凸部，从上述第1方向上的上述突出区域的端部起隔开第1方向端部距离而配置；

上述多个凸部配置为：当设上述第1间隔为DX，设上述第1方向端部距离为EX时，满足第1配置条件0.349≤EX/DX≤0.510。

2.如权利要求1所述的超声波接合用工具，其中，

上述多个凸部在上述突出区域上形成为沿着第1方向为N个、沿着与上述第1方向正交的第2方向为M个的N×M的矩阵状，其中N≥2，M≥2；

上述多个凸部沿着上述第2方向按照每个第2间隔均等地形成，上述多个凸部中的在上述第2方向上位于最外侧的第2方向最外侧凸部从上述第2方向上的上述突出区域的端部起隔开第2方向端部距离而配置；

上述多个凸部配置为：当设上述第2间隔为DY，设上述第2方向端部距离为EY时，还满足第2配置条件0.349≤EY/DY≤0.510。

3.如权利要求2所述的超声波接合用工具，其中，

上述被接合件包括沿着上述第1方向配置在上述基板上且具有导电性的引线，上述引线的形成长度方向为上述第1方向，形成宽度方向为上述第2方向；

上述多个凸部的N×M的矩阵满足NM。

4.一种超声波接合装置，其中，

具备：

权利要求3所述的超声波接合用工具；

基板工作台(10)，载置上述基板；及

超声波传递部(6、17)，在将上述引线配置在上述基板上的状态下，驱动上述超声波接合用工具，以便从上述突出区域对上述引线上的施加部(12p)施加超声波振动。