[发明专利]超声波接合用工具及超声波接合装置

说明书

本发明的目的是提供一种能够良好地保持超声波振动处理后的被接合件的接合性的构造的超声波接合用工具。并且，作为有关本发明的超声波接合用工具的接合工具(4)在抵接前端部(4t)的突出区域(8)中具有多个突起部(80)。多个突起部(80)沿着作为突出区域(8)的长度方向的X方向按照长度方向间隔(DX)均等地形成，在X方向上位于最外侧的X方向最外突起部(80xe)从X方向上的突出区域(8)的端边隔开长度方向端边距离(EX)而配置。并且，多个突起部(80)以满足第1配置条件{0.349≤EX/DX≤0.510}的方式配置。

技术领域

本发明涉及超声波接合用工具，特别涉及在太阳能电池等制造中，用于利用超声波振动将电极线接合的超声波接合装置中的超声波接合用工具。

背景技术

作为向作为被接合件的工件加压(根据需要而加热)而传递超声波振动的先进金属工具，有一种超声波接合用工具，也被称作超声波接合用触头、超声波接合用变幅杆(horn)。

例如在专利文献1～专利文献4中公开了关于超声波接合用工具的材料、构造及使用超声波接合用工具的超声波接合装置的技术。在这些现有技术文献中，关于超声波接合用工具，表示了一种能实现对于被接合件的接合性的提高及接合强度的提高、以及低成本化的技术。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2006－231402号公报

专利文献2：日本特开2005－297055号公报

专利文献3：日本特开2005－254323号公报

专利文献4：日本特开2005－177812号公报

发明内容

发明要解决的课题

通常上述超声波接合用工具的前端部具有在超声波振动的施加时与被接合件接触的突出区域，在该突出区域上形成有多个突起部。

另一方面，为了谋求对于被接合件的接合性及接合强度的提高、低成本化的实现，也有希望能够通过一次的超声波接合动作对被接合件处理大范围的接合区域。为了实现该希望，需要将突出区域形成得较宽，伴随着使突出区域变宽而多个突起部的形成数(以下称作“突起部形成数”)增加。

但是，如果使多个突起部中的突起部形成数过多，则必然在超声波接合后的被接合件的剥离强度中发生波动，有被接合件不能保持良好的接合性的问题。

在本发明中，目的是解决上述那样的问题，提供一种即使将突起部形成数变多也能够良好地保持超声波振动处理后的被接合件的接合性的构造的超声波接合用工具。

用来解决课题的手段

有关本发明的超声波接合用工具，是在超声波振动接合装置中使用的超声波接合用工具，所述超声波振动接合装置对配置在基板的表面上的被接合件从上方加压并施加超声波振动，将上述被接合件向上述基板的表面上接合，在上述超声波接合用工具的前端部，设置有在超声波振动的施加时与上述被接合件接触的突出区域；上述突出区域具有相互分离形成的多个凸部，上述多个凸部沿着第1方向按照第1间隔均等地形成，上述第1方向是上述突出区域的长度方向；上述多个凸部中的在上述第1方向上位于最外侧的第1方向最外凸部从上述第1方向上的上述突出区域的端部起隔开第1方向端部距离而配置；上述多个凸部配置为：当设上述第1间隔为DX，设上述第1方向端部距离为EX时，满足第1配置条件{0.349≤EX/DX≤0.510}。

发明效果

本发明的超声波接合用工具的突出区域具有沿着第1方向按照第1间隔均等地形成的多个凸部，多个凸部满足上述第1配置条件而配置。