[发明专利]树脂密封装置有效
申请号: | 201680085490.7 | 申请日: | 2016-08-17 |
公开(公告)号: | CN109075083B | 公开(公告)日: | 2022-03-08 |
发明(设计)人: | 石井正明 | 申请(专利权)人: | 朝日科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;B29C45/14 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;张会华 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种电子元件的树脂密封装置,其中,利用根据理论关系式和实测关系式这两者而决定的动作条件来使可动模腔做动作,该可动模腔设于在密封对象物的周围形成密封空间的第1模框和第2模框中的至少一者且能够在密封空间内部上下移动,该理论关系式示出根据理论要素来决定可动模腔的动作条件的相关性,该实测关系式示出根据树脂密封层的形成完成后的成型品的实测结果来决定可动模腔的动作条件的相关性,通过对密封空间内部的树脂施加压力,能够与应当进行树脂密封的厚度的差异相对应地以所需的厚度来准确地进行树脂密封。 | ||
搜索关键词: | 树脂 密封 装置 | ||
【主权项】:
1.一种树脂密封装置,其中,该树脂密封装置包括:第1模框,其自密封对象物的第1方向安装;第2模框,其自与所述第1方向相反的第2方向安装,该第2模框以与所述第1模框成对的方式组合;密封空间,其通过所述第1模框和所述第2模框的组合而形成于所述密封对象物的周围;可动模腔,其设于所述第1模框和所述第2模框中的至少一者,该可动模腔能够在所述密封空间内部上下移动;决定部,其决定所述可动模腔进行动作的动作条件;控制部,其利用由所述决定部决定的动作条件来控制所述可动模腔的动作;以及树脂注入部,其向所述密封空间注入用于在所述密封对象物上形成树脂密封层的树脂,所述可动模腔能够与所述密封空间的内周相匹配地上下移动,所述决定部根据理论关系式和实测关系式这两者来决定最终的动作条件,该理论关系式示出根据理论要素来决定所述可动模腔的动作条件的相关性,该实测关系式示出根据树脂密封层的形成完成后的成型品的实测结果来决定所述可动模腔的动作条件的相关性,所述控制部利用最终决定后的动作条件来使所述可动模腔上下移动,所述可动模腔通过由所述控制部控制进行上下移动来对所述密封空间内部的所述树脂施加压力,能够调整所述树脂密封层的厚度和填充率。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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