[发明专利]衍射光栅以及分光装置有效
| 申请号： | 201680085375.X | 申请日： | 2016-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN109196391B | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 笹井浩行 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G01J3/18 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在衍射光栅(2)的照射区域(21)中，包括第1照射区域(21A)和第2照射区域(21B)。在衍射光栅(2)处，第1照射区域(21A)的槽(22)的闪耀波长与第2照射区域(21B)的槽(23)的闪耀波长不同。即，在第1照射区域(21A)和第2照射区域(21B)之间，被分光的光的波长与衍射效率的关系不同。因此，在分光装置中，在衍射光栅(2)的第2照射区域(21B)反射的光中的短波长侧的光不发生衍射，不被检测器接收。于是，在分光装置(1)中，短波长侧的像差得以校正。这样，在衍射光栅(2)处，能够通过以在第1照射区域(21A)和第2照射区域(21B)之间使闪耀波长不同的方式形成槽(22、23)这样的简易的构成来校正像差。 | ||
| 搜索关键词： | 衍射 光栅 以及 分光 装置 | ||
【主权项】：
1.一种衍射光栅，其使照射到照射区域的光衍射而分光成各个波长的光，所述衍射光栅的特征在于，在所述照射区域形成有使光衍射的多个槽，关于所述多个槽中的至少一部分的槽，衍射效率达到峰值的波长即闪耀波长与其他槽不同。
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