[发明专利]衍射光栅以及分光装置

说明书

在衍射光栅(2)的照射区域(21)中，包括第1照射区域(21A)和第2照射区域(21B)。在衍射光栅(2)处，第1照射区域(21A)的槽(22)的闪耀波长与第2照射区域(21B)的槽(23)的闪耀波长不同。即，在第1照射区域(21A)和第2照射区域(21B)之间，被分光的光的波长与衍射效率的关系不同。因此，在分光装置中，在衍射光栅(2)的第2照射区域(21B)反射的光中的短波长侧的光不发生衍射，不被检测器接收。于是，在分光装置(1)中，短波长侧的像差得以校正。这样，在衍射光栅(2)处，能够通过以在第1照射区域(21A)和第2照射区域(21B)之间使闪耀波长不同的方式形成槽(22、23)这样的简易的构成来校正像差。

技术领域

本发明涉及一种使照射到照射区域的光衍射而分光成各个波长的光的衍射光栅以及具备该衍射光栅的分光装置。

背景技术

以往以来，利用具备衍射光栅的分光装置。在分光装置中，向衍射光栅的照射区域照射光。然后，在衍射光栅处，使所照射的光衍射，分光成各个波长的光(例如，参照下述专利文献1)。

在这样的分光装置中，一般来说，容易产生各种像差。例如，在分光装置中，容易产生球面像差、彗形像差、像散以及色像差等像差。这些像差是由于光学系统中的构件的形状、光中的各个波长下的折射率的差异等而引起的，会对各个波长的分辨率造成不良影响。

在专利文献1所记载的分光装置(分光器)中，在规定条件下制造(曝光)衍射光栅，另外，在规定条件下配置光学系统，从而校正在上述分光装置中产生的像差。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第2518505号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

在上述以往的分光装置中，用于制造(构成)衍射光栅的条件复杂(受限定)。因此，存在难以通过简易的构成来校正像差这样的不佳状况。

本发明是鉴于上述实际情况而完成的，其目的在于，提供一种能够通过简易的构成来校正像差的衍射光栅以及分光装置。

解决技术问题的技术手段

(1)本发明涉及一种衍射光栅，其使照射到照射区域的光衍射而分光成各个波长的光。所述衍射光栅在所述照射区域形成有使光衍射的多个槽，关于所述多个槽中的至少一部分的槽，衍射效率达到峰值的波长即闪耀波长与其他槽不同。

通常，在衍射光栅处形成有槽。并且，根据形成于衍射光栅的槽的形状的不同，被分光的光的波长与衍射效率的关系(分光后的光中的各个波长下的衍射效率)不同。另外，在衍射光栅处，将分光而得到的光中的衍射效率达到峰值的波长称为闪耀波长。这样，闪耀波长是衍射光栅(形成于衍射光栅的槽的形状)所固有的值。如果衍射光栅的闪耀波长不同，则在分光后的光中，在哪个波长下衍射效率变高、在哪个波长下衍射效率变低这样的波长与衍射效率的关系就不同。

根据上述构成，在衍射光栅处，关于形成于照射区域的多个槽中的至少一部分的槽，形成为闪耀波长与其他槽不同。例如，如果在衍射光栅的照射区域中，容易产生像差的部分以使衍射效率变低的方式形成槽，不易产生像差的部分以使衍射效率变高的方式形成槽，则能够校正在衍射光栅处产生的像差。

因此，能够通过以在衍射光栅的照射区域的至少一部分和衍射光栅的照射区域的其他部分之间使闪耀波长不同的方式形成槽这样的简易的构成，校正在衍射光栅处产生的像差。

(2)另外，所述多个槽中的位于所述照射区域的中心部的槽的闪耀波长也可以小于位于外侧的槽的闪耀波长。

根据这样的构成，能够通过使位于衍射光栅的中心部的槽的闪耀波长比位于外侧的槽的闪耀波长小这样的简易的构成，校正在衍射光栅处产生的像差。