[发明专利]衍射光栅以及分光装置

权利要求书

1.一种衍射光栅，其使照射到照射区域的光反射而衍射，由此分光成各个波长的光，所述衍射光栅的特征在于，

在所述照射区域形成有使光衍射的多个槽，所述照射区域包括第1照射区域和第2照射区域，所述第1照射区域位于该照射区域的中心部，所述第2照射区域位于所述第1照射区域的外侧，延伸至所述衍射光栅的外周端部，

关于所述多个槽中的形成在所述第1照射区域的槽，衍射效率达到峰值的波长即闪耀波长与形成在所述第2照射区域的槽不同，

形成在所述第1照射区域的槽的闪耀波长是短波长侧的第1闪耀波长，

形成在所述第2照射区域的槽的闪耀波长是比所述第1闪耀波长更靠长波长侧的第2闪耀波长，

形成在所述第2照射区域的槽以如下方式形成：在所述第2照射区域反射的光中，波长为所述第1闪耀波长的光不发生衍射，波长比所述第1闪耀波长长的光发生衍射，由此，校正所述照射区域衍射的光中的、在比所述第2闪耀波长更靠短波长侧的位置呈现的像差。

2.根据权利要求1所述的衍射光栅，其特征在于，

形成在所述第1照射区域的槽的深度与形成在所述第2照射区域的槽的深度不同，由此，在形成在所述第1照射区域的槽与形成在所述第2照射区域的槽之间，闪耀波长不同。

3.根据权利要求1所述的衍射光栅，其特征在于，

所述照射区域由凹面形成。

4.根据权利要求1所述的衍射光栅，其特征在于，

所述照射区域以在各个波长下衍射效率不同的方式使光衍射，并且在各个照射部分衍射的光的聚光分布不同，

关于所述照射区域的多个槽中的形成在所述第1照射区域的槽，通过使闪耀波长与形成在所述第2照射区域的槽不同，从而在使用的波长范围内提高分辨率。

5.根据权利要求1所述的衍射光栅，其特征在于，

所述第2闪耀波长相对于所述第1闪耀波长的比率是1.5～2.5。

6.一种分光装置，其特征在于，具备：

权利要求1所述的衍射光栅；以及

检测器，其检测由所述衍射光栅分光而得到的光。