[发明专利]涂布基板的方法和用于涂布基板的涂布设备有效
| 申请号： | 201680084064.1 | 申请日： | 2016-05-02 |
| 公开（公告）号： | CN108884558B | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 朴炫灿;托马斯·格比利;阿杰伊·萨姆普斯·博霍洛坎 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 根据本公开内容的一方面，提供一种利用至少一个阴极组件(10)涂布基板(100)的方法，此至少一个阴极组件(10)具有溅射靶材(20)及磁体组件(25)，磁体组件(25)围绕旋转轴(A)是可旋转的。此方法包括：当以往复方式在第一扇区(12)中移动磁体组件时对基板(100)进行涂布；以及当以往复方式在不同于第一扇区(12)的第二扇区(14)中移动磁体组件(25)时对基板(100)进行后续涂布。根据第二方面，提供一种用于执行所述的方法的涂布设备。 | ||
| 搜索关键词： | 涂布基板 方法 用于 布设 | ||
【主权项】：
1.一种利用至少一个阴极组件(10)涂布基板(100)的方法，所述至少一个阴极组件(10)具有溅射靶材(20)及磁体组件(25)，所述磁体组件(25)围绕旋转轴(A)是可旋转的，所述方法包括：当以往复方式在第一扇区(12)中移动所述磁体组件(25)时对所述基板(100)进行涂布(I)；以及当以往复方式在不同于所述第一扇区(12)的第二扇区(14)中移动所述磁体组件时对所述基板(100)进行后续涂布(II)。
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