[发明专利]计量设备和计量方法有效
| 申请号： | 201680081018.6 | 申请日： | 2016-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN109196351B | 公开（公告）日： | 2021-08-20 |
| 发明（设计）人： | M.艾贝尔胡贝尔;M.海利希;B.波瓦扎伊 | 申请（专利权）人： | EV集团E·索尔纳有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N29/24 | 分类号： | G01N29/24 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 臧永杰;闫小龙 |
| 地址： | 奥地利圣*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种计量设备和计量方法。用于检验衬底的计量设备具有下列特征：用于用声波来加载衬底的第一衬底堆叠表面的声音加载装置；光学系统，具有：a)用于输出电磁辐射的来源(1)的来源，电磁辐射被分离成至少一个第一光路和第二光路，b)用于用第一光路来加载衬底、尤其是衬底堆叠(14)的衬底堆叠测量表面的装置，c)用于由第一光路和第二光路形成干涉辐射的干涉装置，和d)用于检测干涉辐射的探测器(5)；用于评估在探测器(5)处所检测的干涉辐射的评估装置，其中，所述声音加载装置和所述光学系统被布置在所述衬底的相对置的侧面上。此外本发明涉及一种相应的用于经接合的衬底的计量方法。 | ||
| 搜索关键词： | 计量 设备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于检验衬底、尤其是衬底堆叠(14)、优选地经接合衬底堆叠(14)的计量设备，所述计量设备具有下列特征：声音加载装置，所述声音加载装置用于，用声波(19)来加载所述衬底、尤其是所述衬底堆叠(14)的第一衬底堆叠表面，光学系统，所述光学系统具有a) 来源(1)，用于输出电磁辐射，所述电磁辐射被分离成至少一个第一光路和第二光路，b) 用于用所述第一光路来加载所述衬底的、尤其是所述衬底堆叠(14)的衬底堆叠测量表面(14m)的装置，c) ，用于由所述第一光路和所述第二光路形成干涉辐射的干涉装置；和d) 探测器(5)，所述探测器用于检测所述干涉辐射，评估装置，所述评估装置用于评估在所述探测器(5)处所检测的所述干涉辐射。
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