[发明专利]计量设备和计量方法

说明书

本发明涉及一种计量设备和计量方法。用于检验衬底的计量设备具有下列特征：用于用声波来加载衬底的第一衬底堆叠表面的声音加载装置；光学系统，具有：a)用于输出电磁辐射的来源(1)的来源，电磁辐射被分离成至少一个第一光路和第二光路，b)用于用第一光路来加载衬底、尤其是衬底堆叠(14)的衬底堆叠测量表面的装置，c)用于由第一光路和第二光路形成干涉辐射的干涉装置，和d)用于检测干涉辐射的探测器(5)；用于评估在探测器(5)处所检测的干涉辐射的评估装置，其中，所述声音加载装置和所述光学系统被布置在所述衬底的相对置的侧面上。此外本发明涉及一种相应的用于经接合的衬底的计量方法。

技术领域

本发明涉及一种计量设备以及一种对应的计量方法。

背景技术

现有技术中主要使用纯声学的测量方法，借助于所述测量方法，能够鉴于经接合的衬底堆叠的结构和/或故障方面来检查该经接合衬底堆叠。为了声音信号的耦入，大多将整个衬底堆叠放置于液体、尤其是水中。

另外，也存在如下电磁测量方法及设施，借助于所述电磁测量方法及设施，可测量衬底堆叠。在此，将电磁射束引入该衬底堆叠中且测量电磁射束的反射。在WO2012062343A1中公开一种这样的方法。

最大问题是用液体来润湿该衬底堆叠。这样的润湿出于各种原因是不期望的。首先，该衬底堆叠必须在从设施移除之后被干燥，且其次，液体可能侵入至衬底之间的界面中。

电磁测量方法具有缺点：信息受限于电磁射束的有限侵入深度。所述射束尤其是由于具有高吸收性的金属构件而仅侵入至该衬底堆叠的相对小的深度。此外，所反射的测量信号在离开衬底堆叠之后被明显减弱。此外，大多使用扫描（scannend/abtastend）方法，也即如下方法，其中该衬底堆叠完成相对于如下射束的相对移动，其中所述射束被清晰聚焦并且对该衬底射束进行扫描。所述相对移动极其费时且因此是高成本的。

发明内容

因此，本发明的任务是：说明一种计量设备及计量方法，利用所述计量设备及计量方法快速地、干燥地、高精度地、可靠地且低成本地进行衬底堆叠的检验。

利用本发明提供的技术方案解决所述任务。具体地，根据一种用于检验衬底或衬底堆叠的计量设备，所述计量设备具有下列特征：声音加载装置，所述声音加载装置用于，用声波来加载所述衬底或所述衬底堆叠的第一衬底堆叠表面；光学系统，所述光学系统具有：a) 来源，用于输出电磁辐射，所述电磁辐射被分离成至少一个第一光路和第二光路，b)用于用所述第一光路来加载所述衬底的或所述衬底堆叠的衬底堆叠测量表面的装置，c)用于由所述第一光路和所述第二光路形成干涉辐射的干涉装置，和d) 探测器，所述探测器用于检测所述干涉辐射；评估装置，所述评估装置用于评估在所述探测器处所检测的所述干涉辐射，其中，所述声音加载装置和所述光学系统被布置在所述衬底的相对置的侧面上。相应地，根据本发明的一种用于检验衬底或衬底堆叠的计量方法，所述方法具有以下步骤：通过声音加载装置用声波来加载所述衬底或所述衬底堆叠的第一衬底堆叠表面；用从来源输出的电磁辐射的第一光路来加载已用声波加载的所述衬底或所述衬底堆叠的衬底堆叠测量表面；由所述电磁辐射的所述第一光路和第二光路形成干涉辐射；在探测器处检测所述干涉辐射；评估在所述探测器处所检测的所述干涉辐射，其中，所述声音加载装置和所述来源被布置在所述衬底的相对置的侧面上。在本发明中也说明了本发明的有利扩展方案。由本发明所说明的至少两个特征组成的所有组合也落于本发明的范畴内。在所说明的值范围情况下，处于所提及的极限内的值也应该作为极限值被公开且能够以任意组合来被要求保护。

在此，本发明的基本思想是：尤其是同时地用声波和电磁波的第一光路、尤其是从衬底堆叠的不同侧、优选相对侧来对衬底堆叠执行加载。借助电磁波的并不被引导至衬底堆叠的第二光路和与第一光路的干涉形成来实现对衬底堆叠的测量/评估，尤其是鉴于缺陷处方面，其中所述第二光路尤其是与所述第一光路一起从来源发出的。

换言之，本发明尤其是教导一种设施及一种方法，以便通过(超)声激发及干涉测量来产生衬底堆叠的三维图像。