[发明专利]计量设备和计量方法

权利要求书

1.一种用于检验衬底或衬底堆叠(14)的计量设备，所述计量设备具有下列特征：

声音加载装置(7)，所述声音加载装置用于，用声波(19)来加载所述衬底或所述衬底堆叠(14)的第一衬底堆叠表面，

光学系统，所述光学系统具有

a) 来源(1)，用于输出电磁辐射，所述电磁辐射被分离成至少一个第一光路和第二光路，

b) 用于用所述第一光路来加载所述衬底的或所述衬底堆叠(14)的衬底堆叠测量表面(14m)的装置，

c) 用于由所述第一光路和所述第二光路形成干涉辐射的干涉装置；和

d) 探测器(5)，所述探测器用于检测所述干涉辐射，

评估装置，所述评估装置用于评估在所述探测器(5)处所检测的所述干涉辐射，

其特征在于，所述声音加载装置和所述光学系统被布置在所述衬底或衬底堆叠(14)的相对置的侧面上。

2.如权利要求1所述的设备，所述衬底堆叠（14）是经接合的衬底堆叠（14）。

3.如权利要求1所述的设备，所述设备具有用于将所述电磁辐射分离成所述第一光路和所述第二光路的分束器(3)。

4.如权利要求1-3中任一项所述的设备，其中所述声音加载装置具有一个或多个能够分开操控的声源(9)。

5.如权利要求4所述的设备，其中所述声音加载装置包括用于沿着所述声源(9)的声源表面(9o)固定所述衬底堆叠(14)的固定装置(11)。

6.如权利要求1-3中任一项所述的设备，其中能够在所述声音加载装置与所述第一衬底堆叠表面之间将耦合介质引入。

7.一种用于检验衬底或衬底堆叠(14)的计量方法，所述方法具有以下步骤：

通过声音加载装置(7)用声波来加载所述衬底或所述衬底堆叠(14)的第一衬底堆叠表面，

用从来源(1)输出的电磁辐射的第一光路来加载已用声波加载的所述衬底或所述衬底堆叠(14)的衬底堆叠测量表面(14m)，

由所述电磁辐射的所述第一光路和第二光路形成干涉辐射(IB)，

在探测器(5)处检测所述干涉辐射，

评估在所述探测器(5)处所检测的所述干涉辐射，

其特征在于，所述声音加载装置和所述来源（1）被布置在所述衬底或衬底堆叠(14)的相对置的侧面上。

8.如权利要求7所述的方法，其中所述衬底堆叠（14）是经接合的衬底堆叠（14）。

9.如权利要求7所述的方法，其中所述第一光路被如此调整，使得完全由所述第一光路来检测所述衬底堆叠测量表面(14m)。

10.如权利要求7至9中任意一项所述的方法，其中所述第一光路和所述第二光路被同时产生并在分束器(3)处被分离。

11.如权利要求10所述的方法，其中在所述第一光路在所述衬底堆叠测量表面(14m)处的反射之后，所述第一光路和所述第二光路在所述分束器(3)处被结合并且被转向至所述探测器(5)。

12.如权利要求7至9中任意一项所述的方法，其中通过一个或多个能够分开操控的声源(9)来进行加载声波(19)。

13.如权利要求7至9中任意一项所述的方法，其中产生声音图样的序列，所述声音图样的分别形成的所述干涉辐射(IB)被检测并且被一起评估。

14.如权利要求13所述的方法，其中所述声音图样是不同的。