[发明专利]使用静电夹盘夹持及解夹持基板的方法及装置

摘要

公开对于静电夹盘的方法与设备的技术，此静电夹盘适合在高操作温度下操作。在一个示例中，提供一种基板支撑组件。基板支撑组件包含实质上碟形的陶瓷主体，陶瓷主体具有上表面、圆柱侧壁以及下表面。上表面经配置以支撑基板于上表面上，以在真空处理腔室中处理基板。圆柱侧壁界定陶瓷主体的外直径。下表面与上表面相对地设置。电极被设置在陶瓷主体中。电路被电连接至电极。电路包含DC夹紧电路、第一RF驱动电路以及第二RF驱动电路。DC夹紧电路、第一RF驱动电路以及第二RF驱动电路电耦合至电极。

主权项

1.一种基板支撑组件，包含：实质上碟形的陶瓷主体，所述陶瓷主体具有上表面、圆柱侧壁以及下表面，所述上表面经配置以在真空处理腔室中在所述上表面上支撑基板，所述圆柱侧壁界定所述陶瓷主体的外直径，所述下表面与所述上表面相对地设置；电极，所述电极设置于所述陶瓷主体中；以及主电路，所述主电路电连接至所述电极并经配置以向所述电极提供夹紧电压，所述主电路包含：DC夹紧电路；第一RF驱动电路；以及第二RF驱动电路，其中所述DC夹紧电路、所述第一RF驱动电路以及所述第二RF驱动电路一起与所述电极电耦合。