[发明专利]差分式MEMS麦克风在审
| 申请号： | 201680066589.2 | 申请日： | 2016-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN108432265A | 公开（公告）日： | 2018-08-21 |
| 发明（设计）人： | 李晟馥 | 申请（专利权）人： | 美商楼氏电子有限公司 |
| 主分类号： | H04R1/28 | 分类号： | H04R1/28;H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 黄纶伟 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种麦克风，其包括：基部；设置在所述基部上的第一微机电系统(MEMS)装置和第二MEMS装置。所述第一MEMS装置具有第一振膜和第一背板，并且所述第二MEMS装置具有第二振膜和第二背板。所述第一MEMS装置和所述第二MEMS装置被设置成，使得正压力使所述第一振膜朝着所述第一背板移动，并且所述正压力同时使所述第二振膜移动离开所述第二背板。 | ||
| 搜索关键词： | 微机电系统( MEMS )装置 背板 振膜 正压力 基部 麦克风 差分式 移动 | ||
【主权项】：
1.一种麦克风，该麦克风包括：基部；设置在所述基部上的第一微机电系统MEMS装置，所述第一MEMS装置具有第一振膜和第一背板；第二MEMS装置，该第二MEMS装置设置在所述基部上并且具有第二振膜和第二背板；其中，所述第一MEMS装置和所述第二MEMS装置被设置成，使得正压力使所述第一振膜朝着所述第一背板移动，并且所述正压力同时使所述第二振膜移动离开所述第二背板。
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