[发明专利]差分式MEMS麦克风

说明书

一种麦克风，其包括：基部；设置在所述基部上的第一微机电系统(MEMS)装置和第二MEMS装置。所述第一MEMS装置具有第一振膜和第一背板，并且所述第二MEMS装置具有第二振膜和第二背板。所述第一MEMS装置和所述第二MEMS装置被设置成，使得正压力使所述第一振膜朝着所述第一背板移动，并且所述正压力同时使所述第二振膜移动离开所述第二背板。

相关申请的交叉引用

本申请要求保护2015年11月19日提交的美国临时专利申请No.62/257,483的权益和优先权，其全部内容通过引用并入于此。

技术领域

本申请涉及麦克风，并且更具体地说，涉及差分式麦克风。

背景技术

不同类型的声学装置已经使用多年。一类装置是麦克风。在微机电系统(MEMS)麦克风中，MEMS管芯包括电路图和背板。MEMS管芯由基板支承并且通过壳体(例如，具有壁的杯或盖)封闭。端口可以延伸穿过基板(针对底部端口装置)或穿过壳体的顶部(针对顶部端口装置)。在任何情况下，声能穿过该端口，移动振膜并且产生背板的变化电位，这样产生了电信号。麦克风被部署在各种类型的装置中，如个人计算机和蜂窝电话。

随着麦克风的操作会出现各类问题。总谐波失真(THD)可以被视为输出信号的失真或非线性水平。如果输入信号可以通过将输出信号与常数值相乘使用该输出信号来进行表示，则可以认为输出信号是线性的。更具体地说，THD可以被定义为信号的所有谐波分量的功率总和与输出信号的基频功率之比。THD越小，麦克风的信号质量就越好。

先前的方法对于降低THD并不总是令人满意，这导致了一些用户对这些先前方法的不满。

发明内容

一般来说，本说明书中描述的主题的一个方面可以按麦克风来具体实施。所述麦克风包括：基部、设置在所述基部上的第一微机电系统(MEMS)装置、以及设置在所述基部上第二MEMS装置。所述第一MEMS装置包括第一振膜和第一背板。所述第二MEMS装置包括第二振膜和第二背板。所述第一MEMS装置和所述第二MEMS装置被设置成，使得正压力使所述第一振膜朝着所述第一背板移动，并且所述正压力同时使所述第二振膜移动离开所述第二背板。

所述主题的另一方面可以按麦克风来具体实施。所述麦克风包括：基部、设置在所述基部上的第一微机电系统(MEMS)装置、以及设置在所述基部上第二MEMS装置。所述第一MEMS装置包括：第一振膜、第一背板、以及支承所述第一振膜和所述第一背板的第一基板。所述第一振膜处于所述第一背板与所述基部之间。所述第二MEMS装置包括：第二振膜、第二背板、以及支承所述第二振膜和所述第二背板的第二基板。所述第二背板处于所述第二振膜与所述基部之间。

所述主题的又一方面可以按麦克风来具体实施。所述麦克风包括：基部、设置在所述基部上的基板、由所述基板支承的第一MEMS装置和第二MEMS装置。所述第一MEMS装置包括第一振膜和第一背板。所述第一振膜处于所述第一背板与所述基部之间。所述第二MEMS装置包括第二振膜和第二背板。所述第二背板处于所述第二振膜与所述基部之间。

前述发明内容仅仅是例示性的，而非以任何方式进行限制。除了上述例示方面、实施方式、以及特征以外，进一步的方面、实施方式、以及特征通过参照附图和详细描述而变清楚。

附图说明

本公开的前述和其它特征根据下面结合附图的描述和所附权利要求书将变得更完全清楚。应当明白，这些附图仅描绘了根据本公开的几个实施方式，并因此，不被视为对其范围的限制，本公开通过使用附图，以附加特征和细节进行描述。

图1包括根据本发明各种实施方式的双MEMS差分式麦克风的侧剖视图；

图2包括根据本发明各种实施方式的双MEMS差分式麦克风的另一示例的框图；