[发明专利]差分式MEMS麦克风

权利要求书

1.一种麦克风，该麦克风包括：

基部；

设置在所述基部上的第一微机电系统MEMS装置，所述第一MEMS装置具有第一振膜和第一背板；

第二MEMS装置，该第二MEMS装置设置在所述基部上并且具有第二振膜和第二背板；

其中，所述第一MEMS装置和所述第二MEMS装置被设置成，使得正压力使所述第一振膜朝着所述第一背板移动，并且所述正压力同时使所述第二振膜移动离开所述第二背板。

2.根据权利要求1所述的麦克风，其中，所述第一MEMS装置和所述第二MEMS装置中的一个以倒装法连接至所述基部。

3.根据权利要求1所述的麦克风，所述麦克风还包括延伸穿过所述基部的端口。

4.根据权利要求1所述的麦克风，所述麦克风还包括联接至所述基部并且封闭所述第一MEMS装置和所述第二MEMS装置的盖子，和延伸穿过所述盖子的端口。

5.根据权利要求1所述的麦克风，其中，所述第一MEMS装置联接在所述第二MEMS装置上方。

6.根据权利要求1所述的麦克风，其中，所述第一振膜、所述第二振膜、所述第一背板、以及所述第二背板设置在公共MEMS硅基部上。

7.根据权利要求1所述的麦克风，其中，所述第一振膜和所述第一背板设置在第一MEMS硅基部处，并且所述第二振膜和所述第二背板设置在第二MEMS硅基部上。

8.一种麦克风，该麦克风包括：

基部；

设置在所述基部上的第一微机电系统MEMS装置，所述第一MEMS装置包括：

第一振膜；

第一背板；以及

支承所述第一振膜和所述第一背板的第一基板，

其中，所述第一振膜处于所述第一背板与所述基部之间，以及

设置在所述基部上的第二MEMS装置，所述第二MEMS装置包括：

第二振膜；

第二背板；以及

支承所述第二振膜和所述第二背板的第二基板，

其中，所述第二背板处于所述第二振膜与所述基部之间。

9.根据权利要求8所述的麦克风，其中，所述第二MEMS装置以倒装法连接至所述基部。

10.根据权利要求8所述的麦克风，所述麦克风还包括设置在所述基部上的集成电路。

11.根据权利要求8所述的麦克风，其中，所述第一MEMS装置和所述第二MEMS装置通过引线连接至所述集成电路。

12.根据权利要求8所述的麦克风，其中，来自所述第一MEMS装置的信号和来自所述第二MEMS装置的信号的差分被用于生成所述麦克风的输出。

13.根据权利要求8所述的麦克风，其中，所述基部包括印刷电路板。

14.根据权利要求8所述的麦克风，其中，所述第一基板和所述第二基板由硅构成。

15.一种麦克风，该麦克风包括：

基部；

设置在所述基部上的基板，所述基板保持第一MEMS装置和第二MEMS装置；

所述第一MEMS装置包括：

第一振膜；和

第一背板；

其中，所述第一振膜处于所述第一背板与所述基部之间，以及

所述第二MEMS装置包括：

第二振膜；和

第二背板；

其中，所述第二背板处于所述第二振膜与所述基部之间。

16.根据权利要求15所述的麦克风，其中，所述基部包括印刷电路板，并且其中，所述基板由硅构成。