[发明专利]感光性树脂组合物及由其制备的固化膜在审
| 申请号: | 201680061064.X | 申请日: | 2016-09-23 |
| 公开(公告)号: | CN108139672A | 公开(公告)日: | 2018-06-08 |
| 发明(设计)人: | 权真;许槿;罗钟昊;梁钟韩 | 申请(专利权)人: | 罗门哈斯电子材料韩国有限公司 |
| 主分类号: | G03F7/075 | 分类号: | G03F7/075;G03F7/022 |
| 代理公司: | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人: | 徐舒 |
| 地址: | 韩国忠*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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| 摘要: | 本文公开了感光性树脂组合物和由其制备的固化膜。所述感光树脂组合物包括硅氧烷聚合物、1,2‑醌二叠氮化合物、环氧化合物和至少一种由式1表示的硅烷化合物。所述硅烷化合物与所述树脂组合物中的所述环氧化合物一起进一步减少存在于所述硅氧烷聚合物中的高反应性硅醇基团的数量。因此,可以使对后处理中使用的化学品的耐性(耐化学性)最大化,从而提供具有优异稳定性的固化膜。 | ||
| 搜索关键词: | 固化膜 感光性树脂组合物 硅氧烷聚合物 硅烷化合物 环氧化合物 制备 感光树脂组合物 醌二叠氮化合物 树脂组合物 后处理 高反应性 硅醇基团 耐化学性 化学品 最大化 | ||
【主权项】:
一种感光性树脂组合物,包含:(A)硅氧烷聚合物;(B)1,2‑醌二叠氮化合物;(C)环氧化合物;和(D)至少一种由下式1表示的硅烷化合物:[式1](R1)nSi(OR2)4‑n在式1中,R1为具有1到12个碳原子的烷基、具有2到10个碳原子的烯基或具有6到15个碳原子的芳基,其中,在同一分子内存在多个R1的情况下,每个R1可以彼此相同或不同,并且在R1为烷基、烯基或芳基的情况下,氢原子可以部分或全部被取代,并且R1可以包括含有杂原子的结构单元;R2为氢、具有1到6个碳原子的烷基、具有2到6个碳原子的酰基或具有6到15个碳原子的芳基,其中,在同一分子中存在多个R2的情况下,每个R2可以彼此相同或不同,并且在R2为烷基、酰基或芳基的情况下,氢原子可以部分或全部被取代;并且n是0到3的整数。
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