[发明专利]感光性树脂组合物及由其制备的固化膜在审
| 申请号: | 201680061064.X | 申请日: | 2016-09-23 |
| 公开(公告)号: | CN108139672A | 公开(公告)日: | 2018-06-08 |
| 发明(设计)人: | 权真;许槿;罗钟昊;梁钟韩 | 申请(专利权)人: | 罗门哈斯电子材料韩国有限公司 |
| 主分类号: | G03F7/075 | 分类号: | G03F7/075;G03F7/022 |
| 代理公司: | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人: | 徐舒 |
| 地址: | 韩国忠*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 固化膜 感光性树脂组合物 硅氧烷聚合物 硅烷化合物 环氧化合物 制备 感光树脂组合物 醌二叠氮化合物 树脂组合物 后处理 高反应性 硅醇基团 耐化学性 化学品 最大化 | ||
1.一种感光性树脂组合物,包含:
(A)硅氧烷聚合物;
(B)1,2-醌二叠氮化合物;
(C)环氧化合物;和
(D)至少一种由下式1表示的硅烷化合物:
[式1]
(R1)nSi(OR2)4-n
在式1中,R1为具有1到12个碳原子的烷基、具有2到10个碳原子的烯基或具有6到15个碳原子的芳基,其中,在同一分子内存在多个R1的情况下,每个R1可以彼此相同或不同,并且在R1为烷基、烯基或芳基的情况下,氢原子可以部分或全部被取代,并且R1可以包括含有杂原子的结构单元;
R2为氢、具有1到6个碳原子的烷基、具有2到6个碳原子的酰基或具有6到15个碳原子的芳基,其中,在同一分子中存在多个R2的情况下,每个R2可以彼此相同或不同,并且在R2为烷基、酰基或芳基的情况下,氢原子可以部分或全部被取代;并且
n是0到3的整数。
2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物,其中所述环氧化合物(C)不包括羧基。
3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物,其中所述硅氧烷聚合物(A)包含至少一种衍生自由下式2表示的硅烷化合物的结构单元:
[式2]
(R3)nSi(OR4)4-n
在式2中,R3为具有1到12个碳原子的烷基、具有2到10个碳原子的烯基或具有6到15个碳原子的芳基,其中,在同一分子中存在多个R3的情况下,每个R3可以彼此相同或不同,并且在R3为烷基、烯基或芳基的情况下,氢原子可以部分或全部被取代,并且R3可以包含含有杂原子的结构单元;
R4为氢、具有1到6个碳原子的烷基、具有2到6个碳原子的酰基或具有6到15个碳原子的芳基,其中,在同一分子中存在多个R4的情况下,每个R4可以彼此相同或不同,并且在R4为烷基、酰基或芳基的情况下,氢原子可以部分或全部被取代;并且
n是0到3的整数。
4.根据权利要求3所述的感光性树脂组合物,其中所述硅氧烷聚合物(A)包含衍生自其中n为0的式2的硅烷化合物的结构单元。
5.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物,其中以100重量份所述硅氧烷聚合物的固体含量计,所述至少一种硅烷化合物(D)的含量为0.5到18重量份。
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