[发明专利]光敏树脂组合物及由其制备的固化膜有效
| 申请号： | 201680060875.8 | 申请日： | 2016-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN108139671B | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 罗钟昊;许槿;权真;梁钟韩 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料韩国有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/075 | 分类号： | G03F7/075;G03F7/022 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈哲锋;胡嘉倩 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文公开光敏树脂组合物及由其制备的固化膜。所述光敏树脂组合物向包括普通硅氧烷聚合物和环氧化合物的组合物中引入含有具有强防水性的氟原子的硅氧烷聚合物，并且氟基团可存在于所述固化膜的整个区域中，使得即使在经由干式蚀刻工艺去除所述固化膜的表面被去除之后，也可保持由于氟组分引起的所述防水性。结果，可使对后处理中使用的化学品的耐性(耐化学性)达到最大，从而提供具有优异稳定性的固化膜。 | ||
| 搜索关键词： | 光敏 树脂 组合 制备 固化 | ||
【主权项】：
一种光敏树脂组合物，包含：(A)含有氟原子的硅氧烷聚合物；(B)1，2‑醌二叠氮化合物；和(C)环氧化合物。
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