[发明专利]光敏树脂组合物及由其制备的固化膜有效
| 申请号: | 201680060875.8 | 申请日: | 2016-09-22 |
| 公开(公告)号: | CN108139671B | 公开(公告)日: | 2022-02-11 |
| 发明(设计)人: | 罗钟昊;许槿;权真;梁钟韩 | 申请(专利权)人: | 罗门哈斯电子材料韩国有限公司 |
| 主分类号: | G03F7/075 | 分类号: | G03F7/075;G03F7/022 |
| 代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 陈哲锋;胡嘉倩 |
| 地址: | 韩国忠*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 光敏 树脂 组合 制备 固化 | ||
本文公开光敏树脂组合物及由其制备的固化膜。所述光敏树脂组合物向包括普通硅氧烷聚合物和环氧化合物的组合物中引入含有具有强防水性的氟原子的硅氧烷聚合物,并且氟基团可存在于所述固化膜的整个区域中,使得即使在经由干式蚀刻工艺去除所述固化膜的表面被去除之后,也可保持由于氟组分引起的所述防水性。结果,可使对后处理中使用的化学品的耐性(耐化学性)达到最大,从而提供具有优异稳定性的固化膜。
技术领域
本发明涉及光敏树脂组合物及由其制备的固化膜。特定而言,本发明涉及形成高透明性和优异耐化学性的固化膜的正型光敏树脂组合物以及由所述组合物制备并且用于液晶显示器(LCD)或有机发光二极管(OLED)的固化膜。
背景技术
通常,为了绝缘的目的,在薄膜晶体管(TFT)基材上形成透明的平坦化膜,以防止LCD或OLED中的透明电极和数据线之间的接触。通过位于数据线附近的透明像素电极,面板的孔径比可增加并且可获得高亮度/分辨率。为了形成这类透明的平坦化膜,采用几个处理步骤来赋予特定的图案轮廓,并且由于需要较少的处理步骤,因此在该处理中广泛使用正型光敏树脂组合物。特别地,含有硅氧烷聚合物的正型光敏树脂组合物作为具有高耐热性、高透明性和低介电常数的材料为已知的。
负责高耐热性、高透明性和高分辨率的硅氧烷组合物在本领域中为已知的。常规的硅氧烷组合物可通过将1,2-醌二叠氮化合物加入到其中具有苯基残基的T型硅氧烷结构单元和Q型硅氧烷结构单元彼此结合的硅氧烷聚合物中而获得。举例来说,韩国特许公开专利公开第2006-59202号公开组合物,其包括含有量为20mol%或更少的酚羟基的硅氧烷聚合物、在相对于其中的酚羟基的邻位或对位中不含有甲基的醌二叠氮化合物(0.1到10wt%),以及含有醇羟基的化合物和/或含有羰基的环状化合物作为溶剂。它还公开由组合物制备的固化膜,其具有至少95%的透射率并且满足特定的色度坐标。
同时,使用含有这类硅氧烷组合物的常规正型光敏组合物制备的平坦化膜或采用其的显示装置可具有如当固化膜浸入或接触后处理中使用的溶剂、酸、碱等时膜从基材溶胀或分层的问题。此外,随着对高精度/分辨率的需求增加,并且为了减少处理时间,后处理中使用的溶剂、酸、碱等的浓度变得比以前更高。另外,固化膜的表面经由干式蚀刻工艺被去除,并且因此溶剂、酸、碱等可更容易地经由去除的表面渗透。因此,在后处理期间对可形成具有良好耐化学性的固化膜的光敏树脂组合物的需求正在增加。
发明内容
技术问题
因此,本发明的目的在于提供可形成对后处理中使用的化学材料(溶剂、酸、碱等)具有良好耐化学性的高度透明的固化膜的光敏树脂组合物,以及由其制备的用于LCD、OLED等的固化膜。
问题的解决方案
根据本发明的一个方面,提供光敏树脂组合物,其包括:
(A)含有氟原子的硅氧烷聚合物;
(B)1,2-醌二叠氮化合物;和
(C)环氧化合物。
发明的有益效果
本发明的光敏树脂组合物包含含有具有强防水性的氟原子的硅氧烷聚合物和环氧化合物。环氧化合物相对减少硅氧烷聚合物中高反应性硅烷醇基团的数量,从而改善耐化学性。同时,氟基团不仅可存在于有机膜(固化膜)的表面上,而且可存在于整个区域中,使得即使在经由干式蚀刻工艺去除固化膜的表面之后,也可保持由于氟组分引起的防水性。结果,可使对后处理中使用的化学品的耐性(耐化学性)达到最大,从而提供具有优异稳定性的固化膜。
具体实施方式
根据本发明的光敏树脂组合物包括(A)含有氟原子的硅氧烷聚合物、(B)1,2-醌二叠氮化合物和(C)环氧化合物,并且任选地还可包括(D)溶剂、(E)表面活性剂和/或(F)粘合助剂。
在下文中,将详细解释光敏树脂组合物的各组分。
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