[发明专利]光敏树脂组合物及由其制备的固化膜

权利要求书

1.一种光敏树脂组合物，包含：

(A)含有氟原子的硅氧烷聚合物；

(B)1,2-醌二叠氮化合物；和

(C)环氧化合物，

含有氟原子的硅氧烷聚合物(A)包括至少一种衍生自由下式1表示的硅烷化合物的结构单元：

[式1]

(R¹)_nSi(OR²)_4-n

在式1中，R¹为氟原子或含有氟原子的一价烃，其中在R¹为一价烃的情况下，氢原子可部分或全部被取代，并且在同一分子中存在多个R¹的情况下，每个R¹可彼此相同或不同；

R²为氢、具有1到6个碳原子的烷基、具有2到6个碳原子的酰基或具有6到15个碳原子的芳基，其中在同一分子中存在多个R²的情况下，每个R²可彼此相同或不同，并且在R²为烷基、酰基或芳基的情况下，氢原子可部分或全部被取代；和

n为1到3的整数，

基于不包括溶剂的组合物的固体含量的总重量，含有氟原子的硅氧烷聚合物(A)的含量为50到95重量％，

以不包括溶剂的固体含量为基准，基于100重量份的硅氧烷聚合物(A)，环氧化合物(C)以5到25重量份的量包括在光敏树脂组合物中。

2.根据权利要求1所述的光敏树脂组合物，其中所述环氧化合物(C)不包括羧基。

3.根据权利要求1所述的光敏树脂组合物，其中所述含有氟原子的硅氧烷聚合物(A)还包含至少一种衍生自由下式2表示的硅烷化合物的结构单元：

[式2]

(R³)_nSi(OR⁴)_4-n

在式2中，R³为具有1到12个碳原子的烷基、具有2到10个碳原子的烯基或具有6到15个碳原子的芳基，其中在同一分子中存在多个R³的情况下，每个R³可彼此相同或不同，在R³为烷基、烯基或芳基的情况下，氢原子可部分或全部被取代，并且R³可包括含有杂原子的结构单元；

R⁴为氢、具有1到6个碳原子的烷基、具有2到6个碳原子的酰基或具有6到15个碳原子的芳基，其中在同一分子中存在多个R⁴的情况下，每个R⁴可彼此相同或不同，并且在R⁴为烷基、酰基或芳基的情况下，氢原子可部分或全部被取代；和

n为0到3的整数。

4.根据权利要求3所述的光敏树脂组合物，其中所述含有氟原子的硅氧烷聚合物(A)包含衍生自其中n为0的式2的硅烷化合物的结构单元。

5.根据权利要求1所述的光敏树脂组合物，其中基于Si原子摩尔数，所述含有氟原子的硅氧烷聚合物(A)包含量为在所述硅氧烷聚合物中的含氟结构单元的含量的1到30摩尔％的所述氟原子。

6.一种形成图案的方法，包含：

使用根据权利要求1所述的光敏树脂组合物在基材的表面上形成含硅膜；

使用光图案化所述含硅膜；和

干式蚀刻所述图案化的含硅膜和所述基材以在所述基材中形成图案。

7.一种含硅固化膜，通过根据权利要求6所述的方法形成。

8.根据权利要求7所述的含硅固化膜，其中所述含硅固化膜在干式蚀刻后具有80°或更大的接触角。